昭和電工2015年4月21日宣布,將強化高純度氟化氫(HF)的生產體制。在增強現有設備的同時,還將在中國建設新設備,滿足半導體制造工序中不斷擴大的應用需求。
在此次的體制強化中,昭和電工已于2015年3月將川崎事業所(川崎市)已有設備的產能提高了一倍。此外還將在其全資子公司——上海昭和電子化學材料有限公司內新建生產設備,以滿足中國市場的需求。新設備計劃2015年4月開工建設,年內投入運轉。按計劃,新設備的產能與川崎事業所為同等規模。
低溫與特氣2015年3期
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