光柵式指示表檢定儀示值誤差的檢定方法

朱緋紅

(江蘇省計量科學研究院，南京 210046)

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光柵式指示表檢定儀示值誤差的檢定方法

朱緋紅

(江蘇省計量科學研究院，南京 210046)

介紹一種檢定方法，即采用高精度長度計和專用數顯表作為標準器檢定光柵式指示表檢定儀示值誤差，并對該方法進行可行性分析，證明此方法可行。與現有規程中的方法進行比較，該方法不僅能提高測量準確度，還能提高效率。

光柵式指示表檢定儀；高精度長度計；示值誤差；檢定

0 引言

隨著光柵技術的發展，一些高精度長度計在計量領域里應用越來越廣泛。其主要應用于自動檢測設備、手動測量或定位設備中，對長度、間距、高度、厚度或直線位移等參數可以快速、精確的測量。高精度長度計是基于光電掃描增量式光柵尺的測量原理，將測量桿的直線位移轉化成電信號。如果對這些電信號進行采集處理并通過專用的數顯儀表顯示就能得出測量桿的直線位移量。由于長度計測量符合阿貝原則，所以測量準確度高。高精度長度計主要由高精度光柵裝置、密珠導軌的測量桿裝置、高性能的高速采樣等組成。本文介紹一種用高精度長度計和專用的數顯儀表檢定光柵式指示表檢定儀示值誤差的方法。

1 現有規程中的方法

JJG 201—2008《指示類量具檢定儀》檢定規程[1]規定：檢定光柵式指示表檢定儀示值誤差要用3等量塊和不超過±0.1μm(如分辨力為0.01μm的電感測微儀)檢定。所以我們在檢定光柵式指示表檢定儀時選用3等量塊和電感測微儀中分度值為0.1μm，測量范圍為±3μm這一檔去檢定光刪式指示表檢定儀示值誤差。……