一種氯硅烷殘液生產氯化氫氣體的裝置

一種氯硅烷殘液生產氯化氫氣體的裝置

申請(專利)號：201620451592.3

公開(公告)日：2016-12-07

申請(專利權)人：昆明理工大學

摘要：本實用新型公開了一種氯硅烷殘液生產氯化氫氣體的裝置，屬于多晶硅生產廢物資源化領域；本實用新型所述裝置包括反應釜、吸收塔、水冷器、汽水分離器I、深冷器、汽水分離器II、渣漿泵I、過濾機I、鹽酸收集罐、洗滌罐、渣漿泵II、過濾機II、循環泵；反應釜與吸收塔連通，吸收塔與水冷器連通，水冷器與汽水分離器I連通，汽水分離器I與深冷器連通，深冷器與汽水分離器II連通，汽水分離器I和汽水分離器II與鹽酸收集罐連通；反應釜通過渣漿泵I與過濾機I連通，過濾機I與鹽酸收集罐連通；洗滌罐通過渣漿泵II與過濾機II連通，過濾機II與鹽酸收集罐連通；鹽酸收集罐通過循環泵與吸收塔連通。本實用新型所述裝置省去了專門的鹽酸解析設備，減少能源消耗，降低生產裝置建設成本和運行成本。