多晶硅生產過程中硅渣漿的處理

張春偉，田 新，3

（1.江蘇中能硅業(yè)科技發(fā)展有限公司，江蘇徐州 221004；2.江蘇協(xié)鑫特種材料科技有限公司，江蘇徐州 221004；3.江蘇鑫華半導體材料科技有限公司，江蘇徐州 221004）

多晶硅生產過程中硅渣漿的處理

張春偉1，2，田 新1，2，3

（1.江蘇中能硅業(yè)科技發(fā)展有限公司，江蘇徐州 221004；2.江蘇協(xié)鑫特種材料科技有限公司，江蘇徐州 221004；3.江蘇鑫華半導體材料科技有限公司，江蘇徐州 221004）

首先探討了多晶硅生產過程中硅漿渣的處理難點，并對當前國內外多晶硅生產過程中硅漿渣處理工藝進行研究，最后展望了硅漿渣處理工藝的發(fā)展方向，為多晶硅生產過程中硅漿渣處理工藝的設計提供資料參考。

多晶硅；生產過程；硅漿渣；處理研究

在政策和市場需求的推動下，我國太陽能產業(yè)發(fā)展迅猛。多晶硅作為太陽能產業(yè)發(fā)展的重要工業(yè)原料，其市場需求量逐漸增加。多晶硅的生產會產生很多高毒物質，如果硅漿渣的處理達不到環(huán)保標準，將會給環(huán)境帶來巨大污染。隨著市場對多晶硅產品需求量的不斷加大，很多資金投入到多晶硅的生產領域。但受技術、經驗和生產標準的影響，多晶硅的硅漿渣處理一直達不到環(huán)保標準，這極大的阻礙了我國太陽能產業(yè)的發(fā)展。近年來，在科研單位和生產企業(yè)的努力下，我國多晶硅生產過程中硅漿渣處理工藝和技術進步顯著，但很多技術和方法由于成本造價較高，難以實現(xiàn)工業(yè)應用。如何進一步推動硅漿渣處理工藝和技術的發(fā)展，新的理念、方法和技術轉化為生產力，已經成為擺在多晶硅生產制造企業(yè)面前亟需解決的問題?！?br>