張春偉,田 新,3
(1.江蘇中能硅業(yè)科技發(fā)展有限公司,江蘇徐州 221004;2.江蘇協(xié)鑫特種材料科技有限公司,江蘇徐州 221004;3.江蘇鑫華半導體材料科技有限公司,江蘇徐州 221004)
多晶硅生產過程中硅渣漿的處理
張春偉1,2,田 新1,2,3
(1.江蘇中能硅業(yè)科技發(fā)展有限公司,江蘇徐州 221004;2.江蘇協(xié)鑫特種材料科技有限公司,江蘇徐州 221004;3.江蘇鑫華半導體材料科技有限公司,江蘇徐州 221004)
首先探討了多晶硅生產過程中硅漿渣的處理難點,并對當前國內外多晶硅生產過程中硅漿渣處理工藝進行研究,最后展望了硅漿渣處理工藝的發(fā)展方向,為多晶硅生產過程中硅漿渣處理工藝的設計提供資料參考。
多晶硅;生產過程;硅漿渣;處理研究
在政策和市場需求的推動下,我國太陽能產業(yè)發(fā)展迅猛。多晶硅作為太陽能產業(yè)發(fā)展的重要工業(yè)原料,其市場需求量逐漸增加。多晶硅的生產會產生很多高毒物質,如果硅漿渣的處理達不到環(huán)保標準,將會給環(huán)境帶來巨大污染。隨著市場對多晶硅產品需求量的不斷加大,很多資金投入到多晶硅的生產領域。但受技術、經驗和生產標準的影響,多晶硅的硅漿渣處理一直達不到環(huán)保標準,這極大的阻礙了我國太陽能產業(yè)的發(fā)展。近年來,在科研單位和生產企業(yè)的努力下,我國多晶硅生產過程中硅漿渣處理工藝和技術進步顯著,但很多技術和方法由于成本造價較高,難以實現(xiàn)工業(yè)應用。如何進一步推動硅漿渣處理工藝和技術的發(fā)展,新的理念、方法和技術轉化為生產力,已經成為擺在多晶硅生產制造企業(yè)面前亟需解決的問題?!?br>