一種集成壓電式萬向沖擊傳感器及其壓電敏感元件的制造方法
2016-03-25 08:09:04
傳感器世界 2016年11期
關鍵詞：質量
申請號: 201510868073.7
【公開號】CN105352634A
【公開日】2016.02.24
【分類號】G01L1/16; G01L5/00
【申請日】2015.12.02
【申請人】中國工程物理研究院電子工程研究所
【發明人】趙寶林;劉顯學;劉天國;陶逢剛
【摘 要】本發明公開了一種集成壓電式萬向沖擊傳感器及其壓電敏感元件的制造方法。本發明包括質量塊和壓電敏感元件，壓電敏感元件上設置有Z軸軸向、Y軸軸向和X軸軸向壓力敏感輸出電極對和質量塊焊接電極；質量塊通過質量塊焊接電極焊接在壓電敏感元件頂部；本發明采用新型的集成結構模型，將Z軸壓縮式感應輸出與X、Y軸剪切感應輸出集成一體，通過后續的分區極化，實現了X、Y及Z軸的敏感輸出，技術得到了較大的革新改進。
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