毫米波亞毫米波頻段硅基有源器件建模

孫玲玲　劉軍　文進才

摘 要：毫米波亞毫米波頻段無線通信具有頻譜資源寬、傳輸定向性好、免許可等特點，而硅基納米尺度技術為毫米波亞毫米波集成電路提供了良好的工藝平臺，因此，硅基毫米波亞毫米波集成電路與系統成為無線通信領域的研究熱點。該報告針對硅基毫米波亞毫米波集成電路的關鍵-硅基有源器件的模型，從硅基毫米波有源器件模型和模型庫方法、MOSFET小信號分析和模型方法和MOSFET大信號行為分析和模型方法三方面出發，對MOSFET的模型進行了深入的研究。通過項目的實施，探明了毫米波段硅基有源器件表征方法，基于該方法發展出PSP基毫米波亞毫米波MOSFET模型和模型庫技術，并取得頻率至100 GHz頻段實用驗證結果；已經開發出多種適用于毫米波亞毫米波MOSFET大、小信號建模的模型。以上研究所取得的成果，為硅基毫米波亞毫米波集成電路的發展奠定了堅實的基礎。

關鍵詞：毫米波 硅基 有源器件 模型 模型庫

Abstract：In this report， active modeling theory and technique is reported for silicon based devices at millimeter wave and sub-millimeter wave band.

Key Words：Millimeter Wave；Silicon；Active Device；Modeling；Library

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