曹廣忠, 黃蘇丹, 汪濟(jì)歡, 段吉安, 錢(qián)清泉
(1.深圳大學(xué) 深圳電磁控制重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室,廣東 深圳 518060;2.西南交通大學(xué) 電氣工程學(xué)院,四川 成都 610031;3.中南大學(xué) 高性能復(fù)雜制造國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室,湖南 長(zhǎng)沙 410083 )
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平面開(kāi)關(guān)磁阻電機(jī)模型參考自適應(yīng)位置控制
曹廣忠1,黃蘇丹2,汪濟(jì)歡1,段吉安3,錢(qián)清泉2
(1.深圳大學(xué) 深圳電磁控制重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室,廣東 深圳 518060;2.西南交通大學(xué) 電氣工程學(xué)院,四川 成都 610031;3.中南大學(xué) 高性能復(fù)雜制造國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室,湖南 長(zhǎng)沙 410083 )
摘要:為了提高平面開(kāi)關(guān)磁阻電機(jī)的位置精確度,研究一種基于模型參考自適應(yīng)控制理論的平面開(kāi)關(guān)磁阻電機(jī)控制方法。采用最小二乘法辨識(shí)了平面開(kāi)關(guān)磁阻電機(jī)的線(xiàn)性化模型參數(shù),根據(jù)李亞普若夫穩(wěn)定性理論,以力指令為控制量并采用輸入輸出變量設(shè)計(jì)了平面開(kāi)關(guān)磁阻電機(jī)模型參考自適應(yīng)位置控制器,基于dSPACE半實(shí)物實(shí)時(shí)仿真系統(tǒng),構(gòu)建了實(shí)時(shí)在線(xiàn)控制實(shí)驗(yàn)平臺(tái),進(jìn)行了平面開(kāi)關(guān)磁阻電機(jī)的模型參考自適應(yīng)位置控制實(shí)驗(yàn)。研究表明:基于模型參考自適應(yīng)控制的平面開(kāi)關(guān)磁阻電機(jī)系統(tǒng)能平穩(wěn)、準(zhǔn)確地跟隨給定位置,提高了電機(jī)位置精確度,驗(yàn)證了提出的平面開(kāi)關(guān)磁阻電機(jī)模型參考自適應(yīng)控制方法的可行性和有效性。
關(guān)鍵詞:平面開(kāi)關(guān)磁阻電機(jī);定位精確度;模型參考自適應(yīng)控制;李亞普若夫穩(wěn)定性理論;位置控制
0引言
現(xiàn)代精密、超精密加工裝備對(duì)高精確度的平面驅(qū)動(dòng)有著迫切的需求[1-4],如光刻機(jī)是集成電路等微電子產(chǎn)業(yè)中最重要、最復(fù)雜的設(shè)備,其執(zhí)行機(jī)構(gòu)主要由超精密平面驅(qū)動(dòng)裝置實(shí)現(xiàn)[1,5]。傳統(tǒng)平面驅(qū)動(dòng)裝置由兩套旋轉(zhuǎn)電機(jī)配合齒輪、絲桿等中間機(jī)械轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu)相互垂直組合而成。由于齒輪、絲桿等直線(xiàn)運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)換裝置存在側(cè)隙、變形等一系列問(wèn)題,從而導(dǎo)致傳統(tǒng)平面驅(qū)動(dòng)裝置的精確度較低,難以滿(mǎn)足高精確度應(yīng)用需求[6]。直驅(qū)式平面開(kāi)關(guān)磁阻電機(jī)摒棄了齒輪、絲桿等機(jī)械傳動(dòng)部件,直接利用電能產(chǎn)生平面運(yùn)動(dòng),消除傳動(dòng)過(guò)程的位置誤差,具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、安裝方便、精確度高、成本低、可靠性高及可在惡劣環(huán)境下運(yùn)行等優(yōu)點(diǎn),在機(jī)械加工、電子產(chǎn)品生產(chǎn)、半導(dǎo)體IC制造、制造自動(dòng)化儀表設(shè)備等精密加工領(lǐng)域展現(xiàn)出極大的應(yīng)用前景[7-9]。但平面開(kāi)關(guān)磁阻電機(jī)的非線(xiàn)性磁路、力脈動(dòng)以及無(wú)緩沖機(jī)械轉(zhuǎn)換裝置,使平面開(kāi)關(guān)磁阻電機(jī)的高精確度位置控制成為難點(diǎn)[10]。
迄今,平面開(kāi)關(guān)磁阻電機(jī)控制方法的研究已初見(jiàn)成效。文獻(xiàn)[9]詳細(xì)地討論了平面開(kāi)關(guān)磁阻電機(jī)的理論基礎(chǔ)、結(jié)構(gòu)優(yōu)化設(shè)計(jì)、電磁特性分析及其控制系統(tǒng)的設(shè)計(jì),但并沒(méi)有給出電機(jī)高精確度位置控制方案;文獻(xiàn)[11]和[12]分別將自抗擾控制器和魯棒控制器引入平面開(kāi)關(guān)磁阻電機(jī)系統(tǒng),增強(qiáng)了系統(tǒng)魯棒性,改善了電機(jī)性能,但未給出電機(jī)位置精確度;文獻(xiàn)[13]通過(guò)采用具有遺傳因子的最小二乘法實(shí)時(shí)在線(xiàn)辨識(shí)系統(tǒng)參數(shù),利用極點(diǎn)配置算法調(diào)整電機(jī)的控制量,提高了平面開(kāi)關(guān)磁阻電機(jī)的位置精確度,但未給出電機(jī)的位置精確度指標(biāo);文獻(xiàn)[3]采用了內(nèi)環(huán)為電流環(huán),外環(huán)為位置環(huán)的級(jí)聯(lián)雙環(huán)PD控制器,并利用二維查找表的方式克服由磁路非線(xiàn)性引起的力-電流-位置之間的非線(xiàn)性關(guān)系,將電機(jī)的位置精確度提升至5 μm,但是,對(duì)于不同運(yùn)行情況下的PD控制器,需要對(duì)PD參數(shù)進(jìn)行相應(yīng)的調(diào)整,同時(shí)產(chǎn)生較大的噪聲[11]。因此,平面開(kāi)關(guān)磁阻電機(jī)能否獲得微納級(jí)的位置精確度,為超精密加工裝備提供高精確度平面驅(qū)動(dòng)技術(shù)的支撐,需要探索新的控制方法。
本文提出了一種基于模型參考自適應(yīng)控制理論的平面開(kāi)關(guān)磁阻電機(jī)位置控制方法。該控制方法無(wú)須預(yù)先明確平面開(kāi)關(guān)磁阻電機(jī)精確的數(shù)學(xué)模型,比較被控對(duì)象與參考模型的輸出從而獲取自適應(yīng)控制誤差,用以驅(qū)動(dòng)自適應(yīng)調(diào)節(jié)器。通過(guò)在線(xiàn)連續(xù)調(diào)整控制器參數(shù),使電機(jī)位置跟隨參考位置[14]。該控制方法為平面開(kāi)關(guān)磁阻電機(jī)高精確度位置控制提供新思路。本文給出平面開(kāi)關(guān)磁阻電機(jī)的結(jié)構(gòu)與數(shù)學(xué)模型,辨識(shí)平面開(kāi)關(guān)磁阻電機(jī)線(xiàn)性化模型參數(shù),設(shè)計(jì)平面開(kāi)關(guān)磁阻電機(jī)模型參考自適應(yīng)位置控制器,搭建實(shí)驗(yàn)平臺(tái),進(jìn)行實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證,并給出研究結(jié)論。
1平面開(kāi)關(guān)磁阻電機(jī)結(jié)構(gòu)與數(shù)學(xué)模型
1.1平面開(kāi)關(guān)磁阻電機(jī)結(jié)構(gòu)
與旋轉(zhuǎn)開(kāi)關(guān)磁阻電機(jī)類(lèi)似,平面開(kāi)關(guān)磁阻電機(jī)遵循磁阻最小原理,即勵(lì)磁磁通總是按磁阻最小的路徑閉合,可以將其形象地理解成將兩個(gè)旋轉(zhuǎn)開(kāi)關(guān)磁阻電機(jī)分別沿徑向剖開(kāi),在正交的X軸和Y軸分別按圓周展開(kāi)成直線(xiàn),X軸和Y軸的兩套勵(lì)磁繞組相互垂直交替地被嵌在動(dòng)子平臺(tái)上。研制的改進(jìn)型平面開(kāi)關(guān)磁阻電機(jī)樣機(jī)如圖1所示[15-17]。

圖1 平面開(kāi)關(guān)磁阻電機(jī)樣機(jī)Fig.1 Prototype of the PSRM
電機(jī)主要由定子陣列、X和Y軸動(dòng)子繞組、位移傳感器(光柵尺)、直線(xiàn)導(dǎo)軌等部分組成。其中定子塊如圖2(a)所示,4個(gè)定子塊首尾拼接組成一個(gè)定子單元,如圖2(b)所示。多個(gè)定子單元排列成定子陣列,如圖2(c)所示,所有定子陣列固定在定子機(jī)座上,根據(jù)實(shí)際需要可以很方便地組合成任意尺寸的定子平面。動(dòng)子平臺(tái)由6個(gè)動(dòng)子繞組組成,3個(gè)沿X軸橫向擺放的繞組負(fù)責(zé)Y軸方向的運(yùn)動(dòng),另外3個(gè)沿Y軸縱向擺放的繞組負(fù)責(zé)X軸方向的運(yùn)動(dòng),6個(gè)繞組垂直交替排列,通過(guò)兩套直線(xiàn)導(dǎo)軌支撐動(dòng)子平臺(tái)在X和Y軸上的運(yùn)動(dòng)。位移傳感器用于測(cè)量電機(jī)動(dòng)子平臺(tái)位置。平面開(kāi)關(guān)磁阻電機(jī)主要參數(shù)如表1所示。

圖2 平面開(kāi)關(guān)磁阻電機(jī)的定子結(jié)構(gòu)Fig.2 Structure of the stator of the PSRM

數(shù)值3.67.25.913.955.40.3600mm(X)×600mm(Y)0.8150電機(jī)參數(shù) 數(shù)值定子與動(dòng)子的齒寬/mm3.6定子與動(dòng)子的極距/mm7.2X軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的質(zhì)量/kg5.9Y軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的質(zhì)量/kg13.9電機(jī)的總質(zhì)量/kg55.4空氣氣隙/mm0.3電機(jī)尺寸600mm(X)×600mm(Y)相電阻/Ω0.8線(xiàn)圈匝數(shù)150
1.2平面開(kāi)關(guān)磁阻電機(jī)運(yùn)動(dòng)耦合分析與控制框架
當(dāng)平面開(kāi)關(guān)磁阻電機(jī)YA相動(dòng)子繞組輸入幅值為3 V頻率為50 Hz的正弦電壓時(shí),其它相各動(dòng)子繞組的感應(yīng)電壓如圖3所示。由圖3可知,各相動(dòng)子繞組中最大感應(yīng)電壓為YA相動(dòng)子勵(lì)磁電壓的0.67%,因此,動(dòng)子繞組間互感效應(yīng)可忽略不計(jì),電機(jī)在X、Y軸兩個(gè)方向上的運(yùn)動(dòng)相互解耦,可實(shí)現(xiàn)兩個(gè)方向的解耦控制。
平面開(kāi)關(guān)磁阻電機(jī)兩個(gè)方向的運(yùn)動(dòng)解耦,可等效成兩臺(tái)相互垂直運(yùn)行的直線(xiàn)電機(jī),且每個(gè)軸的控制方式相同,故只對(duì)電機(jī)一個(gè)方向的運(yùn)動(dòng)進(jìn)行分析。平面開(kāi)關(guān)磁阻電機(jī)X軸方向的位置控制框圖如圖4所示。給定位置yr經(jīng)過(guò)自適應(yīng)控制器后輸出力指令u,再通過(guò)力分配函數(shù)將力指令分配到每一相繞組中得到三相動(dòng)子的力指令fxa、fxb、fxc,最后將力指令轉(zhuǎn)化為對(duì)應(yīng)的電流指令ixa、ixb、ixc控制電機(jī)的運(yùn)行。利用力分配函數(shù),采用兩項(xiàng)勵(lì)磁通電的方案可有效減小電機(jī)力脈動(dòng)[9]。
1.3平面開(kāi)關(guān)磁阻電機(jī)數(shù)學(xué)模型
產(chǎn)生正交推力的平面開(kāi)關(guān)磁阻電機(jī)線(xiàn)圈繞組垂直交替排布,相間解耦,繞組間互感可忽略,電機(jī)l軸第k相勵(lì)磁繞組的電壓平衡方程可表示為

圖3 動(dòng)子繞組的感應(yīng)電壓Fig.3 Induced voltages of the phase windings of the mover

圖4 平面開(kāi)關(guān)磁阻電機(jī)X軸的位置控制框圖Fig.4 Position control block diagram for the X-axis of the PRSM
(1)
其中,
ψlk(ilk(t),sl(t))=L(sl(t),ilk(t))ilk(t)。
(2)
不考慮電機(jī)磁路飽和,將式(2)帶入式(1),有

l=X,Y; k=A,B,C。
(3)
式中:Ulk,ilk,Rlk,Llk和ψlk分別為電機(jī)l軸第k相繞組的端電壓、相電流、相電阻、相電感和總磁鏈;sl為電機(jī)l軸定子與動(dòng)子的相對(duì)位置;右端第1項(xiàng)為單相回路的電阻壓降;第2項(xiàng)是由電流變化引起磁鏈變化而感應(yīng)的電動(dòng)勢(shì);第3項(xiàng)是由動(dòng)子平臺(tái)位置改變引起繞組中磁鏈變化而感應(yīng)的電動(dòng)勢(shì)。
電機(jī)在兩個(gè)方向上的運(yùn)動(dòng)是解耦的,當(dāng)l軸運(yùn)動(dòng)時(shí),根據(jù)牛頓力學(xué)定律,運(yùn)動(dòng)方程可表示為

(4)
式中:Ml為電機(jī)l軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的質(zhì)量,Bl為阻尼系數(shù),fl為電機(jī)產(chǎn)生的電磁推力,flp為負(fù)載或外部擾動(dòng)。根據(jù)式(4),以力指令為輸入、電機(jī)位置為輸出的系統(tǒng)傳遞函數(shù)可近似表示為

(5)

定義電機(jī)l軸第k相的磁共能為
Wlo=∫ψlkdilk=∫ilkdψlk。
(6)
假設(shè)在線(xiàn)性磁場(chǎng)下,根據(jù)磁共能推導(dǎo)電機(jī)l軸的推力為

(7)
根據(jù)式(7)可以計(jì)算力電流轉(zhuǎn)換函數(shù)為

(8)
圖5為實(shí)驗(yàn)測(cè)量的平面開(kāi)關(guān)磁阻電機(jī)力-電流-位置三維特性曲線(xiàn),該曲線(xiàn)表明力-電流-位置之間呈強(qiáng)非線(xiàn)性關(guān)系,但對(duì)電機(jī)建模時(shí)一般采用式(7)的線(xiàn)性磁場(chǎng)下的線(xiàn)性模型。
電機(jī)系統(tǒng)在運(yùn)行時(shí),存在各種環(huán)境噪聲和干擾,定義u(k)為系統(tǒng)輸入,y(k)為系統(tǒng)輸出,ζ(k)為外部擾動(dòng),則式(4)所描述的二階系統(tǒng)的離散形式可以表示為
A(z-1)y(k)=B(z-1)u(k)+ζ(k)。
(9)
式中:
(10)
2平面開(kāi)關(guān)磁阻電機(jī)模型參考自適應(yīng)控制
2.1平面開(kāi)關(guān)磁阻電機(jī)系統(tǒng)參數(shù)辨識(shí)
給定模型參考自適應(yīng)控制雖然能夠通過(guò)自適應(yīng)控制率的在線(xiàn)調(diào)整使系統(tǒng)達(dá)到穩(wěn)定,但是由于系統(tǒng)物理的可實(shí)現(xiàn)性,可調(diào)參數(shù)的初值選取問(wèn)題會(huì)影響系統(tǒng)進(jìn)入穩(wěn)定狀態(tài)的快速性,甚至?xí)绊懴到y(tǒng)的穩(wěn)定性。為了選取合適的可調(diào)參數(shù)初值,采用最小二乘法辨識(shí)平面開(kāi)關(guān)磁阻電機(jī)系統(tǒng)的模型參數(shù)。

圖5 平面開(kāi)關(guān)磁阻電機(jī)力-電流-位置三維特性曲線(xiàn)Fig.5 Three-dimensional curve of the current, position,and force
將式(9)寫(xiě)成最小二乘形式為

(11)
(12)
(13)
2.2平面開(kāi)關(guān)磁阻電機(jī)模型參考自適應(yīng)控制器設(shè)計(jì)
根據(jù)式(5)可知,平面開(kāi)關(guān)磁阻電機(jī)系統(tǒng)是一個(gè)相對(duì)階為2的系統(tǒng),利用系統(tǒng)輸入輸出量,根據(jù)Lyapunov 穩(wěn)定性理論設(shè)計(jì)出如圖6所示的平面開(kāi)關(guān)磁阻電機(jī)模型參考自適應(yīng)控制系統(tǒng)。
Wp為被控對(duì)象,即平面開(kāi)關(guān)磁阻電機(jī),Wm為與被控對(duì)象數(shù)學(xué)模型結(jié)構(gòu)相同的參考模型

(14)
其中:Nm(s)=1;Mm(s)為首一多項(xiàng)式。

圖6 平面開(kāi)關(guān)磁阻電機(jī)的模型參考自適應(yīng)控制系統(tǒng)Fig.6 Model reference adaptive control system of the PSRM
由于參考模型的相對(duì)階為2,為保證參考模型Wm嚴(yán)格正實(shí),引入穩(wěn)定多項(xiàng)式L(s)使L(s)Wm(s)嚴(yán)格正實(shí),取L(s)為
L(s)=s+a, 0 (15)