PSD位置測量系統在波蕩器磁場測量中的應用

王曉勛 王宏飛 周巧根 朱 亞

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PSD位置測量系統在波蕩器磁場測量中的應用

王曉勛1,2王宏飛1周巧根1朱 亞1

1（中國科學院上海應用物理研究所 嘉定園區 上海 201800）2（中國科學院大學 北京 100049）

位置敏感探測器(Position Sensitive Detector, PSD)是一種基于橫向光電效應（和方向）的光電位置敏感器件，可直接探測到入射光斑的能量中心位置，在波蕩器磁測中可用于獲得霍爾探頭測量過程中的橫向位置變化。為了在狹小或封閉空間內實現對波蕩器（尤其是真空內波蕩器）磁場進行高精度的測量，我們設計并搭建了測試系統，對導軌直線度（和方向）進行了測量。實驗結果表明，該位置測量系統具有5 μm的測量精度，可以滿足霍爾探頭在波蕩器磁測過程中的位置精度要求。

位置敏感探測器，光闌，真空內波蕩器，磁場測量，數據采集

國家大科學工程上海光源(Shanghai Synchrotron Radiation Facility, SSRF)是第三代同步輻射光源。而第三代光源最顯著特征就是大量引入插入件，尤其是真空內波蕩器，能夠工作在很小的間隙下，可以獲得更強的磁場，與真空外插入件相比，可以獲得更好品質的同步輻射光，所以在第三代同步輻射光源中有非常廣泛的應用[1]。目前研制真空內插入件，墊補磁場參數是在沒有真空腔體的情況下進行的，當墊補完成后，磁陣列需要被整體拆下安裝到真空腔體內。由于腔體內的空間非常有限，目前常用的基于大理石平臺的磁測系統由于無法在安裝真空腔體后對插入件磁場參數進行測量，所以真空插入件磁場性能好壞受機械拆裝的重復性影響非常大。……