一種激光調高儀電容測量技術

廣東工業大學自動化學院 阮亞文 王欽若 陸嘯天

一種激光調高儀電容測量技術

廣東工業大學自動化學院 阮亞文 王欽若 陸嘯天

本文采用充放電微電容檢測電路來檢測激光切割頭的電容式位移傳感器的電容，從而可以保持切割頭與板材的距離不變，保證切割的質量。本文對電容式傳感器、充放電微電容檢測原理進行分析，從而達到控制距離良好的精度。

激光切割；微型電容檢測

1.引言

為了保證最好的切割效果，要求激光束焦點在板材以下1/3厚度的位置保持不變。但是由于各種的原因（工件、環境、機身等等）很容易會導致激光頭與板材之間的距離發生變化，這就使得這個距離控制成為激光切割中的一個關鍵技術點。由但是要測量的電容傳感器的電容值很小（pf級別），這里通常是需要設計電路來把電容的變化值給測量出來。常見的檢測電路有很多，例如運算放大器檢測電路、調頻式檢測電路[1]、AC電橋法、充放電小電容測量電路等等。本文采取的是充放電電容測量電路。

2.電容調高儀整體框架

目前主流的做法是把電容傳感器和激光切割頭是組合在一起進行設計的。 切割頭剖面圖如圖1[2]所示：

傳感器的構成是由兩層錐形金屬層之間通過陶瓷絕緣物質隔離，金屬的外殼和地相連（屏蔽）， 內層下部連接一個金屬片與板材之間構成可變電容的兩個極板。

電容調高儀的整體工作流程[3]如圖2所示：

（1）切割頭與實際板間距離經電容傳感器轉換為電容信號。

（2）信號檢測電路檢測電容信號，并把電容信號轉換成電流或者電壓信號，并進過A/D模塊的轉換送到中央處理器進行處理。

（3）中央處理器對數字信號進行處理后通過D/A轉換模塊的信號來控制伺服電機，最終達到恒定距離的目的。

圖1 切割頭剖面圖

圖2 電容調高儀整體工作流程

3.電容傳感器和充放電小電容測量原理

激光切割頭處用電容式位移傳感器，檢測所得的電容量由兩部分組成，一部分是傳感器本身的固有電容Cfixed，其大小是不變的，另一部分是動極板與定極板構成的可變電容[4]，其相應的關系式為：

式中：

C—電容傳感器檢測的電容量；

ε—極板間介質的介電常數；

S—兩極板的有效面積；

X—兩極板間的間距（高度）；而介電常數ε是真空介電常數ε0（約為）與εr（相對介電常數）的乘積：

由公式(2)可知，介電常數和極板的有效面積都是確定的，影響電容量的是兩極板的間距，即電容變化量只是與極板間距的變化量有關。

從而可得：

變化量為：

化簡可得：

可以知道，總的電容量與極板間距的關系如圖3所示：

圖3 總電容和極板間距的關系

測量電容是通過圖4所示的示意電路[5]所示：

圖4 充放電示意圖

圖4所示中，K1和K2為模擬開關，由單片機產生的PWM波來控制該開關的通斷，C1為測量電容，C2為參考電容，兩個恒流源相等，可分別給測量電容和參考電容充電。

在進行充電時，模擬開關是斷開的，在充電一定時間后，參考電容和被測電容都被充電到電源電壓U0，根據電容和電壓的關系式：

可得：

由公式(8)可以知道，C2電容是參考電容，測量出被測電容的充電時間t1即可知道被測電容C1的值，從而通過公式(6)可以知道其變化的高度，來控制激光的離焦量。

4.結論

本激光調高儀電容測量方法采用的充放電模式獲得的激光頭與板材之間的電容的值具有良好的精度，比其他方法更具快速響應、穩定性高、抗干擾、零漂移等特點；獲得的電容與板材之間的距離特性曲線滿足一定的要求。

[1]張曉輝,馬殿光,徐青菁,唐厚君.數控切割機調高器系統的微電容測量電路設計[J].電氣自動化,2016(04):30-32+48.

[2]彭珍.基于DSP的激光切割機高度跟蹤系統的研究[D].華中科技大學,2012.

[3]繆震華.激光切割機電容式Z浮的研究[D].華中科技大學,2005.

[4]陶克勇.激光切割高度跟隨器的開發[D].華中科技大學,2014.

[5]王海,張李超,周偉光.PCAP01與STM8的激光頭電容測距傳感器設計[J].單片機與嵌入式系統應用,2016(08):43-45+49.

阮亞文（1991—），男，廣東英德人，碩士研究生，現就讀于廣東工業大學，主要研究方向：現代自動化裝備與控制技術。

王欽若（1958—），男，海南儋縣人，碩士，教授，博士生導師，主要研究方向：機電一體化，現代自動化裝備與控制技術。

陸嘯天（1992—），男，江蘇啟東人，碩士研究生，現就讀于廣東工業大學，主要研究方向：現代自動化裝備與控制技術。