申請號:201620021599.1
【公開號】 CN205373872U
【公開日】 2016.07.06
【分類號】 G01H9/00
【申請日】 2016.01.08
【申請人】 楊志強
【發明人】 楊志強;王偉;郭晨華
【摘 要】 本實用新型公開了一種光纖EFPI超聲波傳感器,包括傳感器頭單元和傳感器體單元。其中,傳感器體單元包括傳感器護套,傳感器頭單元設置在該護套內部。傳感器頭單元包括毛細管以及一部分設置在毛細管內的光纖和用于固定光纖的套頭支架,在毛細管的一端上還設置有用于感測超聲波振動的膜片,該膜片的內表面、光纖的前端面以及毛細管的內表面共同界定形成一個法布里-帕羅腔,光纖前端面構成該法布里-帕羅腔的第一個反射面,膜片內表面構成第二個反射面。該光纖EFPI超聲波傳感器可實現對超聲波信號的高效響應和采集,具有很高的靈敏度和測量精度。