碳酰氟的研究進展

金小賢，夏致遠，金向華

(蘇州金宏氣體股份有限公司，江蘇 蘇州 215152)

·綜述評論·

碳酰氟的研究進展

金小賢，夏致遠，金向華

(蘇州金宏氣體股份有限公司，江蘇 蘇州 215152)

碳酰氟是一種應用于半導體設備刻蝕和清洗的新型材料，在有機合成及氟化物的干燥、純化領域也有重要應用。目前國內外關于碳酰氟的制備報道有很多，根據原料種類大體可分為四類，其中CO作為原料制備碳酰氟是應用最多的方法。作為應用于半導體行業的電子氣體，對于純度有一定的要求，因此碳酰氟的純化也是制約其工業化應用的重要因素。

碳酰氟；制備；純化；應用

碳酰氟(COF2)，又稱碳基氟，氟光氣，常溫下是一種有刺激性的、非易燃的無色有毒氣體。近年來，COF2作為一種半導體生產裝置的刻蝕氣和清洗氣，可替代傳統的PFC、NH3，效果優異，環境負擔較小，受到了越來越多的關注和應用。目前國內外關于COF2的制備方法報道，大都用作有機合成，大多處于實驗室階段，產量較小、純度不高，難以滿足半導體行業對氣體純度的要求，因此，進一步分離提純至關重要。本文對COF2的制備、純化及應用領域作了重點闡述，介紹了其工業化應用現狀及前景。

1 碳酰氟的制備方法

國內外已報道的關于COF2的制備方法有很多種，根據合成原料不同大體可以分為四類。以CO或者CO2為原料，與氟、二氟化銀等合適的氟化劑進行氧化反應；以光氣為原料，與氟化氫、三氟化銻、三氟化砷、氟化鈉等合適的氟化劑發生取代反應；……