新型激光比長儀實現激光干涉儀動態高精度校準

新型激光比長儀實現激光干涉儀動態高精度校準

由中國計量科學研究院聯合常州市計量測試技術研究所等單位研制的2臺新型多功能1m激光比長儀裝置分別在江蘇省常州市計量測試技術研究所、無錫市計量測試中心實驗室完成了線紋尺測量精度測試，實現了線紋尺測量不確定度U=(0.1+0.1L)μm（k=3，L∶m），重復性優于30nm，達到國內先進水平，可滿足目前已有線紋尺的動態高精度校準需求，有效提升相關計量機構的一維長度精密測量水平。

據悉，該裝置借鑒了中國計量院“激光干涉比長儀線紋工作基準”的精密激光干涉測長、高精度光電顯微鏡動態瞄準、精密氣浮控制等關鍵技術，可實現線紋尺、激光干涉儀及位移傳感器等設備的動態高精度校準。其主體采用天然花崗巖結構，基于變形分析和建模進行了精心設計，床身尺寸為3.4m×1m×0.7m，整體重達9t，導軌直線度實測優于1μm/m，可有效避免移動工作臺運動所導致的機械

變形，抗震性能好，長期穩定性優。此外，其顯微鏡工作距離達28mm，適用于各種厚度的線紋尺刻線面朝向物鏡或背向物鏡檢測，線紋尺校準與其使用狀態一致，保障了量值傳遞的精度和可靠性。

(工 報)