手表裝飾用類金剛石薄膜的性能研究

趙可淪，劉海華,*，彭繼華，繩瑞達，宋鵬濤

（1.華南理工大學材料科學與工程學院，廣東 廣州 510640；2.珠海羅西尼表業有限公司，廣東 珠海 519085）

手表裝飾用類金剛石薄膜的性能研究

趙可淪1,2，劉海華2,*，彭繼華1，繩瑞達1，宋鵬濤2

（1.華南理工大學材料科學與工程學院，廣東 廣州 510640；2.珠海羅西尼表業有限公司，廣東 珠海 519085）

采用多弧離子鍍與離子束輔助磁控濺射復合工藝在316L不銹鋼上制備了手表裝飾用類金剛石(DLC)梯度薄膜(Cr–WC–DLC)，研究了薄膜的外觀、組成、硬度、耐蝕性、耐磨性、防刮花性能及結合力。結果表明，該方法制得的DLC梯度薄膜呈亮黑色且均勻一致，硬度達28 GPa，sp3結構含量約53%，具有優良的結合強度和耐蝕、耐磨、防刮花性能，是理想的手表用裝飾性膜層。

不銹鋼；類金剛石薄膜；鉻；碳化鎢；多弧離子鍍；磁控濺射；耐蝕性；耐磨性

類金剛石(diamond-like carbon，DLC)薄膜(涂層)是一種與金剛石膜性能相似的新型薄膜材料，具有較高的硬度，良好的熱傳導率，極低的摩擦因數，優異的電絕緣性能，高的化學穩定性及紅外透光性等性能[1-5]。自從Asienberg和Chabotv于1979年采用離子束沉積法(ion beam deposition)制得第一片DLC薄膜以來，人們對類金剛石膜的功能特性、制備方法及其應用領域進行了廣泛和深入的研究，DLC薄膜已被廣泛應用到機械、電子、光學、醫學等各個領域。DLC薄膜是一種主要由sp3和sp2雜化鍵組成的亞穩態非晶碳薄膜。國際上被廣為接受的標準是，硬度超過金剛石的20%的絕緣無定形碳膜就被認定為類金剛石膜。DLC薄膜的表面由大量的非晶碳簇束組成，均勻、致密，是一種優異的表面抗磨損改性膜。……