激光干涉測量專利申請淺析

黃莉

摘 要：本文介紹了激光干涉測量常見的應用，分析了本領域利用激光干涉原理測量長度、厚度、物體表面輪廓面貌的專利申請情況。通過對激光干涉測量領域專利的不同年份、不同國家、不同申請人的數據統計，分析了激光干涉測量領域技術的發展狀況和專利申請情況。

關鍵詞：激光干涉；測量；專利申請

DOI：10.16640/j.cnki.37-1222/t.2017.15.260

1 引言

干涉測量應用范圍十分廣泛，可用于位移、長度、角度、面形、介質折射率的變化及振動等方面的測量。在測量技術中，常用的干涉儀有邁克爾遜干涉儀、馬赫-澤德干涉儀、菲索干涉儀、泰曼-格林干涉儀等[1]；70年代以后，抗環境干擾的外差干涉儀（交流干涉儀）發展迅速，如雙頻激光干涉儀等；近年來，光纖干涉儀的出現使干涉儀結構更加簡單、緊湊，干涉儀性能也更加穩定[2]。

2 激光干涉測量技術的專利申請狀況分析

2.1 激光干涉測量技術的專利申請量

激光干涉測量技術在光學測量領域的專利申請最早出現在1964年，從圖2.1可以看出，在1960年以前，激光干涉技術專利申請量為零；在1975到1995年期間，激光干涉測量技術的專利申請逐漸穩步上升，但是上升幅度較小，每年的專利申請數量小于100件；在2000年到2001年激光干涉測量技術的專利申請量有了較大的提高，此時激光干涉測量技術已經形成了各種先進的激光干涉測量儀，應用范圍進一步擴寬；2001后，激光干涉測量技術在精度和靈敏度上進一步發展，甚至在光學薄膜厚度測試方面，用干涉法測厚的精度可以達到0.01nm，測量角度，分辨力可達0.05''以上，測量面形分辨力可達1/100λ，測量光學零件曲率半徑，分辨力可達1um；此后每一年的激光干涉測量技術的專利申請數據都在200件以上并保持穩步上升的趨勢，專利申請數量保持較高的申請量。

2.2 激光干涉測量技術的專利申請國家分布

激光干涉測量技術最早是在歐美國家研發，在最終是由日本的學者將該技術擴寬到各個領域中，激光干涉測量技術在日本得到了更深入的研究和發展，隨后，中國的學者也開始將激光干涉測量技術加入研究的技術領域；激光干涉測量技術在日本的專利申請量最多，與美國和中國的激光干涉測量專利申請數量有較大差額，美國激光干涉測量專利位于第二，中國緊隨其后。

2.3 激光干涉測量技術的專利申請人分布

激光干涉技術在測量領域的專利申請的申請人中，大部分都來自高校，其次是公司申請，來自研究所的申請也占了較大部分；PCT申請的占有率最少，從側面反映出了，激光干涉測量技術屬于一門研究型的技術，是一門高科技學科；在高校申請中，清華大學的激光干涉測量專利申請量最多，其次是天津大學的激光干涉測量專利申請；在公司申請中，上海微電子裝備有限公司的激光干涉測量專利申請量最多；而在各研究所的激光干涉測量專利申請量中，沒有特別突出的；這也反應了，在激光干涉測量技術研究中，清華大學和天津大學的研究較為靠前，而在激光干涉測量技術的應用中，上海微電子裝備有限公司占據市場較大份額。

3 總結

本文針對激光干涉測量技術的專利申請情況，根據激光干涉測量技術的起源和發展歷程，分析了激光干涉測量技術的專利申請情況，對激光干涉測量技術在不同的光學測量領域的專利申請情況，通過數據分析了激光干涉測量技術在不同國家地區的專利申請情況，了解了該項技術在不同國家之間的發展情況和該項技術在我國的發展情況。

參考文獻：

[1]段小艷，任冬梅.激光干涉法微位移測量技術綜述[J].計測技術，2012，32（06）：1-13.

[2]于航，陸冰睿等.激光干涉光刻工藝開發與應用研究[J].傳感器與微系統，2013，32（50）：9-12.endprint