激光干涉測量專利申請淺析

黃莉

摘 要：本文介紹了激光干涉測量常見的應用，分析了本領域利用激光干涉原理測量長度、厚度、物體表面輪廓面貌的專利申請情況。通過對激光干涉測量領域專利的不同年份、不同國家、不同申請人的數(shù)據統(tǒng)計，分析了激光干涉測量領域技術的發(fā)展狀況和專利申請情況。

關鍵詞：激光干涉；測量；專利申請

DOI：10.16640/j.cnki.37-1222/t.2017.15.260

1 引言

干涉測量應用范圍十分廣泛，可用于位移、長度、角度、面形、介質折射率的變化及振動等方面的測量。在測量技術中，常用的干涉儀有邁克爾遜干涉儀、馬赫-澤德干涉儀、菲索干涉儀、泰曼-格林干涉儀等[1]；70年代以后，抗環(huán)境干擾的外差干涉儀（交流干涉儀）發(fā)展迅速，如雙頻激光干涉儀等；近年來，光纖干涉儀的出現(xiàn)使干涉儀結構更加簡單、緊湊，干涉儀性能也更加穩(wěn)定[2]。

2 激光干涉測量技術的專利申請狀況分析

2.1 激光干涉測量技術的專利申請量

激光干涉測量技術在光學測量領域的專利申請最早出現(xiàn)在1964年，從圖2.1可以看出，在1960年以前，激光干涉技術專利申請量為零；在1975到1995年期間，激光干涉測量技術的專利申請逐漸穩(wěn)步上升，但是上升幅度較小，每年的專利申請數(shù)量小于100件；在2000年到2001年激光干涉測量技術的專利申請量有了較大的提高，此時激光干涉測量技術已經形成了各種先進的激光干涉測量儀，應用范圍進一步擴寬；2001后，激光干涉測量技術在精度和靈敏度上進一步發(fā)展，甚至在光學薄膜厚度測試方面，用干涉法測厚的精度可以達到0.01nm，測量角度，分辨力可達0.05''以上，測量面形分辨力可達1/100λ，測量光學零件曲率半徑，分辨力可達1um；此后每一年的激光干涉測量技術的專利申請數(shù)據都在200件以上并保持穩(wěn)步上升的趨勢，專利申請數(shù)量保持較高的申請量。

2.2 激光干涉測量技術的專利申請國家分布

激光干涉測量技術最早是在歐美國家研發(fā)，在最終是由日本的學者將該技術擴寬到各個領域中，激光干涉測量技術在日本得到了更深入的研究和發(fā)展，隨后，中國的學者也開始將激光干涉測量技術加入研究的技術領域；激光干涉測量技術在日本的專利申請量最多，與美國和中國的激光干涉測量專利申請數(shù)量有較大差額，美國激光干涉測量專利位于第二，中國緊隨其后。

2.3 激光干涉測量技術的專利申請人分布

激光干涉技術在測量領域的專利申請的申請人中，大部分都來自高校，其次是公司申請，來自研究所的申請也占了較大部分；PCT申請的占有率最少，從側面反映出了，激光干涉測量技術屬于一門研究型的技術，是一門高科技學科；在高校申請中，清華大學的激光干涉測量專利申請量最多，其次是天津大學的激光干涉測量專利申請；在公司申請中，上海微電子裝備有限公司的激光干涉測量專利申請量最多；而在各研究所的激光干涉測量專利申請量中，沒有特別突出的；這也反應了，在激光干涉測量技術研究中，清華大學和天津大學的研究較為靠前，而在激光干涉測量技術的應用中，上海微電子裝備有限公司占據市場較大份額。

3 總結

本文針對激光干涉測量技術的專利申請情況，根據激光干涉測量技術的起源和發(fā)展歷程，分析了激光干涉測量技術的專利申請情況，對激光干涉測量技術在不同的光學測量領域的專利申請情況，通過數(shù)據分析了激光干涉測量技術在不同國家地區(qū)的專利申請情況，了解了該項技術在不同國家之間的發(fā)展情況和該項技術在我國的發(fā)展情況。

參考文獻：

[1]段小艷，任冬梅.激光干涉法微位移測量技術綜述[J].計測技術，2012，32（06）：1-13.

[2]于航，陸冰睿等.激光干涉光刻工藝開發(fā)與應用研究[J].傳感器與微系統(tǒng)，2013，32（50）：9-12.endprint