天津大學突破性開創柔性射頻濾波技術

天津大學科研團隊開創了柔性射頻濾波技術，并且利用一項名為柔性微機電系統（FlexMEMS）的創新工藝成功開發出柔性射頻濾波器，未來可直接應用于柔性電子的無線射頻通信。團隊首創的FlexMEMS工藝技術能夠在超薄的塑料基底上制造具有高精密可動微結構的微機電器件，解決了表面粗糙且不耐高溫的高分子材料基底與高質量薄膜、高精密可動微結構在器件設計、制造及封裝中的不兼容問題。此外，該技術還可以應用于制造多種柔性微機電器件，如壓力計、加速度計、陀螺儀、超聲識別和成像單元、投影成像單元等，使柔性電子設備具備更強的感知外部世界（如虛擬現實）甚至影響外部世界（如現實增強）的能力。

（圖片來源：Wiley）