具有抗干擾能力的光電自準直儀研制

郭梁 昌明 劉峰 鄭雪葳 龍江波 許優凡

摘 要：光電自準直儀是自準直技術與光電技術相結合的產物。文章詳細說明了一種具有抗干擾、非線性修正功能的光電自準直儀的設計過程，給出了光源和信號處理電路的研制方法，以及采用此方法的光電自準直儀的研制結果。對提高基于PSD的光電自準直儀的測量精度具有參考意義。

關鍵詞：光電自準直儀;PSD;抗干擾;非線性修正;測量分辨率;測量精確度

中圖分類號：TP393文獻標識碼：A文章編號：2095-1302（2019）03-00-03

0 引 言

自準直儀是利用光學自準直原理，進行小角度測量或可轉換為小角度測量的一種精密技術測量儀器。由于它具有較高的準確度和測量分辨率，因此被廣泛應用于角度測量、導軌的平直度和平行度測量、精密定位、自動角度定位環境集成等方面，也是機械制造、航空、航天、計量測試、科學研究等部門必備的重要測量儀器，特別是在精密、超精密定位方面，更有不可替代的作用[1]。

光電自準直儀是自準直技術與光電技術相結合的產物，以光電瞄準對線代替了人工瞄準線，測試過程不需要人為判讀，降低了測試難度，提高了測量精確度，受到技術人員的青睞。目前，電荷耦合器件（Charged Coupled Device，CCD）攝像器件早已應用到光電自準直儀上，使反射光斑在CCD光敏面上成像，大大提升了儀器的測量精度和易用性。雖然隨著新型光電器件、信號處理技術和計算機技術的發展，基于CCD的光電自準直儀在分辨率、測量重復性、準確度等方……