專利名稱：一種氧化鉬納米纖維紙氫氣傳感器的制備方法

專利申請號：CN201510760530.0

公開號：CN105334245A

申請日：2015.11.10公開日：2016.02.17

申請人：湖北大學

本發明公開一種氧化鉬納米纖維紙氫氣傳感器的制備方法，是在基于專利《一種氧化鉬納米纖維紙及其制備方法》(201510308204.6)制得的氧化鉬納米纖維紙的一側面濺射金屬Pt/Pd納米顆粒陣列方法，包括：在氧化鉬納米纖維紙上覆蓋金屬掩膜版，再在磁控真空濺射設備內濺射Pt/Pd納米顆粒陣列構成電極，將濺射后的納米纖維紙從中間切斷即成為二個性能相同的氫敏元件，將氫敏元件封裝到IC基座中即為氫氣傳感器成品。不同材質納米顆粒、不同濺射時間及濺射功率，可制得不同響應和恢復時間的傳感器。所述傳感器制造工藝簡單、耗能低、成本低，能在常溫下工作，響應和恢復時間短、靈敏度高，穩定性好，壽命長且能重復利用，所述氫敏元件還便于集成在各種多路傳感器中。