圓分度角測(cè)量檢定中的分段內(nèi)插測(cè)量法

王 蕾，張忠武，王 震，孫方金, 王春喜, 張鐵犁, 劉曉旭

(北京航天計(jì)量測(cè)試技術(shù)研究所，北京 100076)

1 引 言

圓分度角[1，2]常用排列互比法進(jìn)行測(cè)量，利用這種誤差分離技術(shù)，可以得到消減陪檢工具偏差后的被檢設(shè)備分度偏差，以及消減被檢設(shè)備分度偏差后的陪檢工具角度偏差。排列互比法的測(cè)量間隔角選得越小，測(cè)量點(diǎn)越多，測(cè)量結(jié)果越接近圓分度角。當(dāng)測(cè)量間隔角等于被檢設(shè)備的最小分度角時(shí)，能得到被檢設(shè)備完整的圓分度角準(zhǔn)確度，但很難實(shí)現(xiàn)，因?yàn)闇y(cè)量點(diǎn)數(shù)過多，工作量過大，所需時(shí)間過長(zhǎng)，測(cè)量環(huán)境條件變化和測(cè)量?jī)x器漂移的影響顯著，所以一般采用測(cè)量間隔角大于被檢設(shè)備最小分度角，使測(cè)量間隔角等于設(shè)備最小分度角整數(shù)倍的方法[3]，其前提是被檢設(shè)備圓分度角的偏差特性是均勻的，故測(cè)量并非嚴(yán)格。

解決辦法是先以一定間隔角完成排列互比法測(cè)量，在此基礎(chǔ)上再對(duì)某段間隔角進(jìn)行內(nèi)插測(cè)量，可以測(cè)量至設(shè)備的最小分度角，稱為分段內(nèi)插測(cè)量法。為保證測(cè)量準(zhǔn)確度，同樣需采用誤差分離技術(shù)，但不是整周的誤差分離，而是圓周中一段角度的誤差分離[4]。

2 陪檢工具

與排列互比法相同，分段內(nèi)插測(cè)量法同樣需有陪檢工具，其特點(diǎn)是小角度、單角[5]，如圖1所示，這種結(jié)構(gòu)反射和透射兩光路的對(duì)稱性好，使用了自準(zhǔn)直儀準(zhǔn)直光束的中心部位，易于制成小角度，角度值以精密研磨達(dá)到，比較穩(wěn)定。

圖1 小角度陪檢工具示意圖Fig.1 Small angle inspection tool schematic diagram

分光棱鏡的一個(gè)側(cè)面研平，作為陪檢工具的底基面。……