基于模糊PID技術的CO₂激光器功率控制研究

0 引言

微流控芯片是一種交互集成的微全分析系統(tǒng)，它以微管道為網(wǎng)絡連接微泵、微閥、微儲液器、微電極、微檢測元件等，可最大限度地把采樣、稀釋、加試劑、反應、分離、檢測等分析功能集成為一體。當前微流控芯片已經(jīng)開始從實驗室走向應用，急需探索低成本大批量生產(chǎn)的制造技術。研究聚合物微流控芯片的制造技術，對微流控芯片的研究與產(chǎn)業(yè)化具有重大意義。