荷蘭埃因霍溫理工大學開發出一種新型光學傳感器,可提高測量的分辨率,并有助于實現包含激光器和片上傳感平臺的檢測器在內的完全集成、緊湊的光學傳感器。該傳感器通過光刻工藝制作波導和懸臂,由換能器、致動器和光電二極管組成,分辨率高達45飛米,還具有80納米的超寬光學帶寬,無需昂貴的可調諧激光器,進而使傳感器更加緊湊。目前,研究人員計劃基于該新型傳感器開發集成在芯片上的“納米計量實驗室”,該實驗室可用于半導體計量,能夠在納米級的精確位移和力測量中發揮關鍵作用,并有助于設計下一代微芯片和納米電子產品。
中國計算機報2020年21期
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