荷蘭開發出用于納米級傳感的超大帶寬集成光學傳感器

荷蘭埃因霍溫理工大學開發出一種新型光學傳感器，可提高測量的分辨率，并有助于實現包含激光器和片上傳感平臺的檢測器在內的完全集成、緊湊的光學傳感器。該傳感器通過光刻工藝制作波導和懸臂，由換能器、致動器和光電二極管組成，分辨率高達45飛米，還具有80納米的超寬光學帶寬，無需昂貴的可調諧激光器，進而使傳感器更加緊湊。目前，研究人員計劃基于該新型傳感器開發集成在芯片上的“納米計量實驗室”，該實驗室可用于半導體計量，能夠在納米級的精確位移和力測量中發揮關鍵作用，并有助于設計下一代微芯片和納米電子產品。