淺談半導(dǎo)體制造行業(yè)危廢鑒別的問題與優(yōu)化建議

劉媛

摘 要：隨著我國危險(xiǎn)廢物規(guī)范化管理的進(jìn)一步加強(qiáng)，危險(xiǎn)廢物鑒別工作成為規(guī)范化管理不可或缺的組成部分。開展科學(xué)的危廢鑒別工作，可將半導(dǎo)體制造企業(yè)存疑的產(chǎn)廢，明確其危險(xiǎn)特性，有效降低企業(yè)固體廢物環(huán)保安全處置風(fēng)險(xiǎn)。

關(guān)鍵詞：危險(xiǎn)廢物鑒別;鑒別工作實(shí)施流程;環(huán)保

半導(dǎo)體行業(yè)是我國“十三五”規(guī)劃中的重點(diǎn)發(fā)展領(lǐng)域，是國內(nèi)新興戰(zhàn)略產(chǎn)業(yè)。但其環(huán)評文件中涉及整體工藝的產(chǎn)廢相關(guān)基礎(chǔ)性數(shù)據(jù)并不全面，相關(guān)信息的收集、分析與研究都面臨較大困難，加之目前多數(shù)先進(jìn)制造工藝技術(shù)具有壟斷保密性質(zhì)，所以，開展危險(xiǎn)廢物鑒別對彌補(bǔ)產(chǎn)廢基礎(chǔ)數(shù)據(jù)是特別有必要的，更有利于企業(yè)對固體廢物的規(guī)范化管理。

1 ? ?半導(dǎo)體行業(yè)危廢鑒別現(xiàn)狀

危險(xiǎn)廢物鑒別的程序和判別規(guī)則來源于《危險(xiǎn)廢物鑒別通則》，鑒別過程中涉及的樣品采集、檢測和判斷等技術(shù)要求出自《危險(xiǎn)廢物鑒別技術(shù)規(guī)范》，這兩項(xiàng)重要的鑒別規(guī)范均在2020年1月1日頒布實(shí)施。結(jié)合當(dāng)前半導(dǎo)體行業(yè)的危廢鑒別現(xiàn)狀，采用新規(guī)范鑒別、分析危險(xiǎn)廢物，可使鑒別體系更具可操作性，對總結(jié)鑒別實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)、降低危險(xiǎn)廢物處置難度有重大意義。

企業(yè)鑒別工作實(shí)施流程開展前的首要環(huán)節(jié)就是取得環(huán)評文件。根據(jù)鑒別規(guī)范中針對危險(xiǎn)廢物的判定規(guī)則，通常環(huán)評公司會在報(bào)告編寫或評審階段羅列出待鑒別的危廢項(xiàng)目，從而使企業(yè)有明確的鑒別目標(biāo)。鑒別工作主要包含取樣檢測及鑒別分析兩部分，取樣包含初篩取樣及正式檢測取樣，可根據(jù)固體廢物的各項(xiàng)危險(xiǎn)特性超標(biāo)的可能性，確定檢測優(yōu)先順序。根據(jù)任何一項(xiàng)檢測結(jié)果判定該固體廢物具有危險(xiǎn)特性時(shí)，可不再檢測其他危險(xiǎn)特性。鑒別服務(wù)公司依照檢測結(jié)果，分析并編寫鑒別報(bào)告，后經(jīng)專家評審認(rèn)定即完成整套鑒別流程，可確認(rèn)待測定固體廢物有無危險(xiǎn)特性。

2 ? ?危廢鑒別存在的問題

2.1 ?環(huán)評過于從嚴(yán)判定固體廢物

半導(dǎo)體行業(yè)涉及的固體廢物依照《國家危險(xiǎn)廢物名錄》進(jìn)行辨識，環(huán)評階段發(fā)現(xiàn)一部分廢物并無對應(yīng)行業(yè)及代碼使之完全切合，從工藝流程、產(chǎn)生環(huán)節(jié)、主要成分、有害成分等角度分析并不能完全排除其危險(xiǎn)特性，通常環(huán)評階段類比相同或相似的固體廢物危險(xiǎn)特性，會從嚴(yán)判定結(jié)果。例如廢晶圓屬于制造工藝中產(chǎn)生的不合格產(chǎn)品，通過分析制造工藝中的砷平衡表，發(fā)現(xiàn)可能有微量砷元素進(jìn)入了晶圓因而被判定為HW24“含砷廢物”，通過實(shí)際危廢鑒別后，發(fā)現(xiàn)并未檢出砷的急性毒性或浸出毒性的危險(xiǎn)特性。從嚴(yán)判定必將導(dǎo)致一些本應(yīng)作為一般固體廢物處置的廢棄物轉(zhuǎn)變?yōu)槲ｋU(xiǎn)廢物，從而面臨收集、運(yùn)輸、處置方式的復(fù)雜化，還會使企業(yè)廢棄物處置成本陡增。

2.2 ?已定性的固體廢物處置風(fēng)險(xiǎn)

高科技行業(yè)正在經(jīng)歷與日俱增的產(chǎn)業(yè)革新，環(huán)評文件由于編寫、審核、批準(zhǔn)的周期較長，無法保證及時(shí)跟進(jìn)、更新。在環(huán)評中已經(jīng)完成定量定性的固體廢物，如果其在生產(chǎn)工藝運(yùn)行穩(wěn)定、廢物性質(zhì)穩(wěn)定的情況下，按照環(huán)評要求的處置方式進(jìn)行處置，可以保障處置合法合規(guī);但當(dāng)廢物性質(zhì)隨工藝變化較大時(shí)，該廢物危險(xiǎn)特性判定結(jié)果的有效性則會被質(zhì)疑。例如，潔凈室空氣過濾會產(chǎn)生大量的報(bào)廢空氣濾網(wǎng)，其作用為過濾空調(diào)吸入的外部空氣中微量的污染成分，在環(huán)評中被定性為一般工業(yè)固廢。實(shí)際上不同地域氣象條件不同，因而外部空氣質(zhì)量也隨之變化，為保障潔凈室內(nèi)空氣質(zhì)量合規(guī)，就會需要使用更為先進(jìn)的空調(diào)濾芯方可達(dá)到滿意的去除效率，這些新型空氣濾網(wǎng)通常含有催化劑及活性炭。如果企業(yè)將含有催化劑及活性炭的固體廢物，繼續(xù)作為一般固廢處置，很有可能為企業(yè)留下安全環(huán)保風(fēng)險(xiǎn)。

3 ? ?危廢鑒別優(yōu)化建議

3.1 ?提高企業(yè)自身的危廢辨識能力

無論環(huán)評文件中有無定性固體廢物的危險(xiǎn)特性，企業(yè)的廢棄物管理專責(zé)人員都要定期進(jìn)行自我核查，保證環(huán)評表述信息與實(shí)際產(chǎn)廢情況相吻合。首先，要判斷存疑的危險(xiǎn)廢物是否為在生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的，喪失原有利用價(jià)值或者雖未喪失利用價(jià)值但被拋棄或者放棄的物品、物質(zhì)，包括法律、行政法規(guī)規(guī)定納入固體廢物管理的固體廢物。只有滿足屬于固體廢物的前提條件，才可以依照《國家危險(xiǎn)廢物名錄》來判斷其是否屬于危險(xiǎn)廢物。接下來根據(jù)《名錄》中行業(yè)類別、工藝或裝置來定性危險(xiǎn)廢物，如未匹配到對應(yīng)項(xiàng)目，可開展危廢鑒別，精準(zhǔn)判定危險(xiǎn)廢物，有效控制環(huán)境風(fēng)險(xiǎn)。所以，半導(dǎo)體行業(yè)在環(huán)評階段之初，不能完全照搬危險(xiǎn)廢物名錄中的行業(yè)來源“電子原件制造行業(yè)”的產(chǎn)廢歸類，而是需要根據(jù)產(chǎn)廢源頭的工藝或裝置來判定。

3.2 ?合理優(yōu)化環(huán)評危廢鑒別結(jié)果

鑒別的意義在于進(jìn)一步明確其屬性，確定其管理范疇。當(dāng)物品具有較高的利用價(jià)值時(shí)，對于環(huán)評文件已定性或還未定性的危險(xiǎn)廢物，產(chǎn)生單位可能對于某物品是否屬于廢物或危險(xiǎn)廢物存在異議，也可以主動(dòng)申請重新進(jìn)行廢物危險(xiǎn)特性鑒別。另外新版《通則》也明確提出，如果根據(jù)其生產(chǎn)的原輔材料和工藝就可以排除其具有危險(xiǎn)特性，便可以在不開展危險(xiǎn)特性檢測工作或輔助性檢測工作的情況下，直接作出該固體廢物不具有危險(xiǎn)特性的屬性認(rèn)定，從而避免了危險(xiǎn)廢物鑒別過程的過度檢測。

4 ? ?結(jié)語

固體廢物危險(xiǎn)特性鑒別的完善對固體廢物管理，特別是危險(xiǎn)廢物管理發(fā)揮著關(guān)鍵性的作用。事實(shí)上，幾乎所有固體廢物都可找到合理的利用方式和途徑。為了能實(shí)現(xiàn)這一最終目的，需要企業(yè)深刻理解固體廢物概念和廢物管理的原則，運(yùn)用已有的法律法規(guī)及危險(xiǎn)廢物鑒別手段，使企業(yè)有更加多元化的機(jī)會將危險(xiǎn)廢物處置風(fēng)險(xiǎn)降到最低，創(chuàng)造價(jià)值的同時(shí)也能節(jié)約資源，變廢為寶。

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