PERC太陽能電池生產工藝

姚 旭，申開愉，韓燕旭，李亞男，劉 歡

（山西潞安太陽能科技有限責任公司，山西長治 046000）

1 PERC太陽能電池的結構

PERC技術，即鈍化發射極背面接觸，通過在太陽能電池背面形成鈍化層，提升轉換效率。PERC電池具有工藝簡單，成本較低，且與現有電池生產線兼容性高的優點，成為未來高效太陽能電池的主流方向。結構見圖1。

圖1 PERC太陽能電池結構圖

2 PERC太陽能電池的生產工藝

相比常規光伏電池生產流程而言，PERC太陽能電池的生產將增加2道工序和1道改進工序，其余工藝步驟均與常規太陽能電池生產流程相同。①沉積背面鈍化層。②開口以形成背面接觸。③需要有針對性地改進基于化學濕臺的邊緣隔離步驟，硅片背部絨面金字塔型結構需要被溶蝕掉。拋光的程度基于選用技術的不同而異。因此，鈍化膜沉積設備和膜開口設備（既可以使用激光也可以運用化學蝕刻）都需要在傳統的電池生產線上額外增加加工設備。流程見圖2。

圖2 PERC電池生產流程

3 PERC太陽能電池與常規太陽能電池對比分析

PERC技術通過在電池的后側上（如圖3所示）添加一個電介質鈍化層來提高轉換效率。標準電池結構中更高的效率水平受限于光生電子重組的趨勢。PERC電池最大化跨越了P-N結的電勢梯度，這使得電子更穩定的流動，減少電子重組，以及更高的效率水平。

圖3 PERC太陽能電池與常規太陽能電池

與標準電池相比，PERC電池的優勢主要有兩個方面：①內背反射增強，降低長波的光學損失；②高質量的背面鈍化，這使得PERC電池的開路電壓（Voc）和短路電流（Isc）較之標準電池有大幅提升，從而電池轉化效率更高。……