一種光學加速度傳感器及加速度傳感器系統

申請號:202110107185.6

【公開號】CN112782424A

【公開日】2021.05.11

【分類號】G01P15/03

【申請日】2021.01.27

【申請人】寧波正業自動化科技有限公司

【發明人】吳迅奇;朱潔瓊

【摘 要】本發明提供了一種光學加速度傳感器及加速度傳感器系統，所述光學加速度傳感器包括：傳導光纖，其內部傳導光波；半導體結構，其上刻蝕布拉格光柵，且與所述傳導光纖對準，對射入的光波進行調制后反射回所述傳導光纖；振動組件，其與所述半導體結構連接，感應被測物體的振動并傳遞給所述布拉格光柵。這樣，將半導體結構和傳導光纖分離開來設置，需要封裝的時候，直接對半導體結構進行封裝，解決了光纖彎曲半徑過小，封裝成傳感器尺寸過大的問題；另外，半導體結構更為穩固，所以解決了布拉格光纖光柵易脆易斷，無法測量高頻振動信號的問題。