一種陶瓷電容式壓力傳感器壓力檢測系統及其測試方法

申請號: 202110147503.1

【公開號】CN112857627A

【公開日】2021.05.28

【分類號】G01L1/14; G01L9/12

【申請日】2021.02.03

【申請人】江蘇大學

【發明人】劉桂武;陸浩杰;邵海成;喬冠軍;王立朋;張相召

【摘 要】本發明公開了一種陶瓷電容式壓力傳感器壓力檢測系統及其測試方法。檢測系統包括高壓氣泵、可調壓容艙、膜片夾具及后端電路檢測系統。該系統的可調壓容艙設有一組進氣通道、4組測試通道及氣壓顯示端口，進氣通道與測試通道均設有閥門裝置；膜片夾具設有放置陶瓷膜片及調理電路板的凹腔，凹腔內設置O形密封圈，密封夾具一端設置帶導線通孔的尼龍封蓋，另一端設有螺紋連接頭；后端電路檢測系統包括信號采集裝置及軟件控制窗口。本發明具有快速封裝、操作簡便、多線程測量、可橫向比對標定的優點，可用于電容式壓力傳感器的快速封裝及測試。