一種肖特基二極管氫氣傳感器芯體
2021-03-27 22:58:17
傳感器世界 2021年7期
申請號: 202110155170.7
【公開號】CN112858440A
【公開日】2021.05.28
【分類號】G01N27/414
【申請日】2021.02.04
【申請人】哈爾濱工業大學
【發明人】方海濤;李瑞武;李思佳
【摘 要】本發明公開了一種肖特基二極管氫氣傳感器芯體。所述肖特基二極管氫氣傳感器芯體由4層結構和導電引線構成，4層結構依次是氫氣裂解金屬層、羥基擴散阻隔層、半導體層和集流體層，從氫氣裂解金屬層和集流體層分別引出導電引線。本發明中所述肖特基二極管氫氣傳感器芯體具有室溫下抗濕度干擾的特殊性能，室溫下氣體環境中的水蒸氣不會降低所述肖特基二極管氫氣傳感器芯體對氫氣的靈敏度，克服了現有無羥基擴散阻隔層的普通氫氣裂解金屬層/半導體層肖特基二極管氫氣傳感器芯體在室溫下濕度降低其氫敏性能的缺點。
