電子級(jí)氫氟酸的連續(xù)化制備系統(tǒng)及方法

申請(專利)號(hào)：CN202110755055.3

公開(公告)日：2021-11-16

申請(專權(quán))人：北京化工大學(xué);巨化集團(tuán)有限公司;中巨芯科技有限公司;浙江凱圣氟化學(xué)有限公司

摘要:本發(fā)明提供一種電子級(jí)氫氟酸的連續(xù)化 制備系統(tǒng)及方法,半導(dǎo)體器件的制備過程采用特殊工藝生產(chǎn)的電子級(jí)氟化氫進(jìn)行蝕刻和清洗,本申請的電子級(jí)氟化氫,利用亞氟/氟氣協(xié)同氧化效應(yīng)結(jié)合超重力氧化反應(yīng)/分離耦合強(qiáng)化技術(shù),將原料中雜質(zhì)離子深度氧化,顯著降低雜質(zhì)離子含量。根據(jù)工業(yè)試驗(yàn)結(jié)果,采用本發(fā)明的系統(tǒng)和方法生產(chǎn)得到的電子級(jí)氫氟酸中雜質(zhì)含量小于3ppt,As、Fe、Ca、B 等雜質(zhì)元素含量均較當(dāng)前主流工藝減少10倍以上,其中最主要雜質(zhì)As的含量降低至0.001ug/L以下,相較于當(dāng)前主流工藝減少200倍以上。