有研集團研制的國內單槍最大功率電子束熔煉爐投產

11月8日,隨著有研集團所屬有研工研院設計制造的GREB2800 大型電子束熔煉爐在麗水成功“點火開爐”,國內第一個電子級超大規模集成電路制造用超高純鉭材料產業基地正式投產。

全球應用于高端芯片制造用超高純鉭材技術被美國和日本的兩家公司壟斷,我國完全依賴進口。國產超高純鉭材料產業基地的建成,填補了該領域的空白,將結束我國長期依賴進口的局面。

大功率電子束熔煉爐是超高純鉭材料制備的關鍵核心裝備之一,也是我國的重大短板裝備之一。有研工研院針對電子級超高純鉭電子束熔煉裝備開展技術攻關,自主研發出單槍功率達到800 kW 的大功率電子束熔煉爐,同時也是目前國內單槍功率最大的電子束熔煉爐,設備水平國內領先、國際先進。該設備具有完整的自主知識產權,實現了我國超高純鉭材料制備用大功率電子束熔煉爐的完全國產化。