博世德累斯頓晶圓廠即將正式投入運營

首批晶圓從全自動化生產線下線

Harald Kroeger：“博世即將在德累斯頓投產車用芯片，助力未來交通出行。”工業4.0 先驅：博世在芯片生產整個過程中全部采用互聯化和自動化流程。高精密生產制造：從晶圓到芯片歷經數百道工序。

博世在未來芯片生產上邁入了一個新的里程碑：博世德累斯頓晶圓廠宣布其首批硅晶圓從全自動化生產線下線，為其2021 年下半年正式啟動生產運營奠定基礎。全數字化、高互聯化的德累斯頓晶圓廠投入運營后，主攻車用芯片制造。“德累斯頓晶圓廠將為未來交通出行解決方案以及改善道路安全提供車用芯片。我們計劃于今年年底前啟動 生產。”博世集團董事會成員Harald Kroeger 表示。目前，博世在斯圖加特附近的羅伊特林根已有一家半導體工廠。德累斯頓晶圓廠將致力于滿足半導體應用領域不斷激增的市場需求，也進一步表明了博世集團將德國打造成科技高地的決心。博世在德累斯頓晶圓廠投資了約10 億歐元，目標將其建設為全球最先進的晶圓廠之一。此外，德累斯頓晶圓廠新大樓建造還獲得了德國聯邦政府內部聯邦經濟與能源部的資金補貼。該晶圓廠計劃于2021 年6 月正式投入運營。

試生產順利開展

2021 年1 月，德累斯頓晶圓廠開始進行首批晶圓的制備。博世將利用這批晶圓來制造功率半導體，以應用于電動車及混合動力車中DC-DC 轉換器等領域。這批晶圓生產歷時六周，共經歷了約250 道全自動化生產工序，以便將微米級的微小結構沉積在晶圓上。目前，這些微芯片正在電子元件中進行安裝和測試。2021 年3 月，博世將開始生產首批高度復雜的集成電路。從晶圓到最終的半導體芯片成品，整個生產流程將經歷約700 道工序，耗時10 周以上。

主攻300毫米晶圓生產

博世德累斯頓晶圓廠的核心技術為直徑為300 毫米晶圓制造，單個晶圓可產生31000 片芯片。與傳統的150 和200 毫米晶圓相比，300 毫米晶圓技術將使博世進一步提升規模效益并鞏固其在半導體生產領域的競爭優勢。此外，全自動化生產和機器設備之間的實時數據交換還將顯著提高德累斯頓晶圓廠的生產效率。“博世德累斯頓晶圓廠將為自動化、數字化和互聯化工廠樹立全新的行業典范，”Kroeger 說道。

這一晶圓廠位于有“薩克森硅谷”之稱的德累斯頓，從2018 年6 月開始施工建設，占地面積約10 萬平方米（相當于14 個足球場）。2019 年下半年，德累斯頓晶圓廠完成外部施工，其建筑面積達到72000 平方米。博世隨后進行了工廠內部施工，并在無塵車間安裝了首批生產設備。2020 年11 月，初步建成的高精密生產線完成了首次全自動試生產。在德累斯頓晶圓廠的最后建設階段，工廠將聘用700 名員工，負責生產管理和監測以及機器設備維護工作。

從晶圓到芯片

半導體正逐漸在物聯網和未來交通出行等領域扮演著越來越重要的角色。被稱為“晶圓”的圓形硅晶片是半導體制造的第一步。博世德累斯頓晶圓廠的晶圓直徑為300 毫米，其厚度僅為60 微米，比人類的頭發還細。德累斯頓晶圓廠將歷時數周，將未經處理的“裸晶圓”加工成市場上緊俏的半導體芯片。在車用集成電路中，這些半導體芯片充當了汽車的“大腦”，負責處理傳感器采集的信息并觸發進一步操作，如以光速向安全氣囊發出打開信號。盡管硅芯片僅有數平方毫米的大小，但這些芯片包含復雜的電路，并具備數百萬種單個電子功能。