1959年9月15日,對于年輕的共和國來說,這一天特別有意義——位于天津瑪鋼廠的601實驗所(中國電科46所前身)利用直拉法拉制出中國第一顆實用直拉硅單晶,敲開了我國通往信息時代的大門。
“草臺班子”也要唱大戲
1957年,美國人做出了世界上第一塊集成電路,半導體技術很快在許多領域得到了應用。中國的科技界不甘示弱,601實驗所決定成立“物理提純組”,由丁守謙任組長,4名年輕科研人員迅速集結,開始研制硅單晶及物理提純。
物理提純組成立后,難題可謂一連串。技術方面,物理組不僅沒有設備,更缺少技術資料。歷經千辛萬苦,一本俄文版的《半導體冶金學》令大家如獲至寶。通過自學,隊員們利用一臺廢棄的高壓變壓器,將石墨筒內的硅粉加熱,使其變成了硅塊。
最難的是研制硅單晶爐,那是硅單晶拉制最關鍵的設備。但當時全國沒有一家單位有硅單晶爐,丁守謙打聽到北京有色金屬冶金設計院有一臺鍺單晶爐,于是前往“取經”。從北京參觀回來后,他憑記憶向大家傳達,選修過制圖課的隊員靳健就在一旁繪圖。不到半個月,一臺拉硅單晶的爐子由圖紙變成了實物。“但一試根本不行。”丁守謙說,團隊只好改進設計,推翻重來。
硅單晶爐制成后,剩下的最大難題就是火候的掌握和提拉的速度了。在用其它材料代替硅進行了上百次的實驗和演練后,終于要正式拉制硅單晶了。
實驗用到了費盡周折從蘇聯購來的一小塊硅籽晶。這塊唯一的硅籽晶,只有印刷廠的鉛字大小(約3×3mm)。它意味著實驗只能成功,不能失敗!
“游擊隊”打了漂亮仗
1959年9月14日晚9點,實驗開始,物理組全體人員齊聚在自制的硅單晶爐旁。正當晶體被拉到3厘米左右長時,馬達忽然出現故障,停轉了。小組立刻改用人工轉動……待單晶冷卻后,丁守謙等人仔細觀察,只見一個黑褐色的單晶體見棱見角,三個晶面閃閃發光。這不就是大家夢寐以求的硅單晶嗎!經過檢驗鑒定,那是一顆純度為3個9(即99.9%)的硅單晶。一個歷史性的成果就此誕生。
丁守謙和他的小組并沒有停下腳步,他們知道,按照國外的科技資料,硅單晶的純度起碼要達到5個9(即99.999%),才能派上用場。1960年秋,在一次又一次的反復改良和試驗之后,他們得到了一根純度達到7個9(即99.99999%)的硅單晶。
中科院半導體專家鑒定后認為,601實驗所1960年生產的產品純度,已相當于美國1953年時的水平,技術差距縮小到7~8年。它使中國成為繼美國和蘇聯之后,世界上又一個可以自己拉制硅單晶的國家。 (摘自光明網、《今晚報》 胡春艷 馬曉榮/文)