新方法讓光片“又寬又薄”

刁雯蕙

中科院深圳先進技術研究院正高級工程師李劍平團隊提出了一種生成薄而寬的準無衍射激光光片的光瞳掩模優化設計方法。該方法提出了一個光片質量的全局評價因子，用以表征光片厚度、無衍射范圍和旁瓣之間的制衡關系。理論和實驗表明，優化后的掩模可將靜態光片無衍射范圍擴大50%，同時使其旁瓣低于20%。據此生成的新型靜態光片可以在不犧牲軸向分辨率的前提下，對樣品實現更大視野成像。