掩膜版行業進入高速增長通道

李興然

滲透率提升+國產芯片崛起雙重驅動，掩膜版行業進入高速增長通道。

行業進入高速增長通道

掩膜版是光刻工藝的“底片”，市場規模穩步提升：掩膜版是微電子制造過程中的圖形轉移工具或者母版，承載著圖形設計和工藝技術信息，被應用于半導體芯片（IC）、平板顯示（FPD）、觸控（TP）、電路板（PCB）等行業。

根據SEMI 的數據，全球半導體材料市場規模從2017年469億美元增長至2021年643億美元，其中掩膜版占比約12%;由此推算，我們認為IC掩膜版市場空間約77.16億美元。根據Omdia的研究報告，顯示面板行業掩膜版全球需求2021年預計大約為60億元，中國大陸占比約52%。

掩膜版行業具備逆產業周期行業特性，芯片產業創新促進行業高速發展。掩膜版行業具有部分逆產業周期的特性，類似于機械制造業的模具，產品需求主要依賴下游行業的產品創新，跟下游產品的銷量和價格沒有直接聯系。因此隨著我國半導體芯片行業的國產替代推進，芯片公司將會不斷推出新的產品料號，對于掩膜版的產品需求不斷增加。

下游客戶擴產進程順利，掩膜版需求水漲船高：半導體芯片方面，SEMI預計從2021年下半年到2024年，將有25家新建的8英寸晶圓廠以及60家12英寸晶圓廠投入運營。隨著中國大陸地區晶圓廠的快速擴產，預計IC掩膜版的份額將快速提升，完成市場空間與國產替代的雙重增長。平板顯示方面，根據路維光電招股書預計，2023年中國大陸有18條8.5/8.6代高精度TFT 產線，以及22條6代及以下高精度線完成建設并投產。預計平面顯示精細化、大尺寸化的發展趨勢將穩定貢獻市場增量。

IC掩膜版行業國際龍頭仍占據絕對優勢，國產替代任重道遠。截止2019年，全球前三大的IC掩膜版市場依次是中國臺灣（37.92%）、韓國（20.91%）、北美（19.33%），中國大陸僅占比0.6%。隨著國內掩膜版廠商能力的不斷增長和下游晶圓廠的話語權的不斷增加，國產替代的節奏有望提速。

四個標的簡介

建議關注掩膜版制造領域的領先企業路維光電、清溢光電，以及具備石英材料供貨能力的菲利華、石英股份。

路維光電（688401）：FPD掩膜版全世代產線覆蓋，G11技術引領國產。經過多年技術積累和自主創新，公司在G11超高世代掩膜版、高世代高精度半色調掩膜版和光阻涂布等產品和技術方面，打破了國外廠商的長期壟斷。公司擁有國內首條G11超高世代掩膜版產線，是國內唯一一個覆蓋G2.5-G11全世代產線的國產廠商。公司G11掩膜版產品的下游客戶主要為京東方和華星光電。同時，公司實現了250nm制程節點半導體掩膜版量產，并掌握了180nm/150nm節點半導體掩版制造核心技術，滿足先進半導體芯片封裝和器件等應用需求。公司在平板顯示領域的主要客戶為京東方、華星光電、中電熊貓、天馬等公司;在半導體領域，公司已有客戶士蘭微、晶方科技、華天科技、通富微電等。

公司將持續投入研發，母公司和路維科技研發團隊主要的研發領域為G6及以下TFT掩膜版及半導體掩膜版光刻精度及效率提升、高效脫膜技術、掩膜版表面防護技術、電子束光刻及干法制程研究等;成都路維研發團隊主要的研發領域為G8.5及以上TFT掩膜版高精度光刻工藝開發、掩膜版涂布工藝開發、高世代掩膜版光學膜貼附工藝開發等。

清溢光電（688138）：二十年磨一劍，國內最大掩膜版廠商。經過二十多年的努力，公司產品完成了從低精度、小尺寸到高進度、大尺寸的跨越。目前，公司客戶包含了國內外的領軍企業，比如FPD領域的京東方、天馬、華星光電、群創光電、瀚宇彩晶、龍騰光電、維信諾等等;IC領域的客戶包括中芯國際、英特爾、艾克爾、顧邦科技、長電科技、士蘭微等等。

根據公司2021年年報，在平板顯示用掩膜版技術方面，已實現8.5代高精度TFT用掩膜版以及6 代中精度AMOLED/LTPS用掩膜版的量產，并完成了掩膜基板涂膠工藝的試產，推動半透膜掩膜版（HTM）產品的逐步量產。正在研發8.6代高精度TFT用掩膜版和6代高精度AMOLED/LTPS用掩膜版，已規劃6 代超高精度AMOLED/LTPS用掩膜版和高規格半透膜掩膜版（HTM）開發計劃。半導體芯片掩膜版技術方面，已實現250nm工藝節點的6英寸和8英寸半導體芯片用掩膜版的量產，正在推進180nm 半導體芯片用掩膜版的客戶測試認證，同步開展130nm-65nm半導體芯片用掩膜版的工藝研發和28nm 半導體芯片所需的掩膜版工藝開發規劃。

菲利華（300395）：專注石英玻璃領域數十年，多家國際龍頭企業認證。公司專注開發氣熔石英玻璃、合成石英玻璃、電熔石英玻璃與石英玻璃纖維及制品，主導產品有石英玻璃錠、筒、管、棒、板、片，光學用合成石英玻璃，石英玻璃器件，石英玻璃纖維系列產品，石英玻璃纖維立體編織預制件，以石英玻璃纖維為基材的復合材料。公司產品應用于半導體芯片制造、航空航天、光學、光通訊等領域。半導體領域作為公司最重要的下游市場之一，公司持續投入研發以及客戶開發;公司是國內首家獲得國際領先半導體設備商認證的供應商，其氣熔石英玻璃材料于2011 年通過了日本東京電子株式會社半導體材料認證，之后又獲得了泛林研發和應用材料公司等半導體設備商的認證。同時，電熔石英玻璃材料研發成功送樣客戶并得到客戶認可，上海石創的石英玻璃器件加工通過上海中微半導體的認證。公司于2021年推出了國內首創的8.5 代TFT-LCD光掩模基板以及合成石英光柵反射鏡、大規格高均勻高能激光透鏡用合成石英玻璃材料。

石英股份（603688）：半導體級石英促進業務增量，利潤率穩步提升。公司主要使用天然石英礦石材料，專注于研發、生產與銷售。主導產品有高純石英砂、石英管（棒）、大口徑石英擴散管、石英筒、石英錠、石英板等及多種石英器件，主要應用于光源、光伏、半導體、光纖光學等領域。

公司聚焦于半導體石英材料在終端晶圓制造商及半導體設備商的產品認證和市場推廣，產品在半導體的應用領域不斷擴大，預計市場占有率將持續提高。2021年公司石英材料通過東京電子半導體刻蝕認證，并在2020年下半年通過美國Lam Research的刻蝕石英認證。石英內外腔產品也在化合物半導體產業得到應用。目前公司在半導體石英材料的市場還處于起步發展階段，發展空間廣闊。隨著公司在半導體產業加大研發投入，開發更多產品，半導體領域將成為公司未來重要的增量市場。

圖：掩模版的上下游

來源：安信證券