β-環糊精制備光刻膠成膜樹脂及性能研究*

楊舒雅，楊淑娟，梁福根，楊 飛，張 勇

（1.浙江理工大學 先進紡織材料與制備技術教育部重點實驗室，浙江 杭州 310018；2.浙江傳化華洋化工有限公司，浙江 杭州 311231；3.浙江宇博新材料有限公司，浙江 臺州 318000）

近半個世紀以來，微電子技術憑借飛快的發展 速度和強大的生命力已成為本世紀最具有發展潛力的技術之一。集成電路作為微電子制造技術的核心，現今已發展到把整個集成電路的電子系統集中在一個芯片上[1]。決定芯片質量最重要的影響因素則是刻在芯片上面的線路，當同一塊芯片上線路越多、越細，芯片的運行速度就越快。光刻膠是影響芯片線路刻蝕過程中粗細程度的重要材料之一，而成膜樹脂作為光刻膠中最重要的一部分，則直接影響著芯片線路的粗細程度，它是光刻膠的骨架，是光刻膠的基礎材料[2-5]。

目前，用于制備傳統光刻膠的主體化合物材料因其分子體積大、分子量大和分子鏈纏繞等原因，導致其不適合高分辨率光刻膠的要求[6]。所以，需要開發一些具有分子體積小、分子量小等特點的材料來代替傳統光刻膠中的高分子化合物材料。眾多研究表明，構成分子玻璃體系的分子尺寸小，具有明確的分子結構和分子量，且具備良好的熱穩定性和成膜性能。分子尺寸會對光刻膠的分辨率產生很大的影響，所以分子玻璃比高分子化合物材料在制備高分辨率光刻膠方面具有更顯著的優勢[7-10]。

β-環糊精的化學結構式見圖1。

圖1 β-環糊精的分子結構Fig.1 Molecular structure ofβ-cyclodextrin