羅明浩：技以載道十余載克難攻堅(jiān)鑒匠心

文/余工 責(zé)任編輯/毛思潔

他是“設(shè)備醫(yī)生”，能診治各種設(shè)備的“疑難雜癥”；他是技改大師，幫企業(yè)自主設(shè)計(jì)、安裝靶材生產(chǎn)線關(guān)鍵設(shè)備，打破國(guó)外設(shè)備技術(shù)壟斷；他是很多人的師傅，手把手教技術(shù)，培養(yǎng)年輕人。他就是2022年度全國(guó)五一勞動(dòng)獎(jiǎng)?wù)芦@得者、寧波江豐電子材料股份有限公司（以下簡(jiǎn)稱“江豐電子”）的首席技師羅明浩。他從事半導(dǎo)體材料設(shè)備及工藝研究近20年，懷著技能報(bào)國(guó)的夢(mèng)想奮力前行，展現(xiàn)了新時(shí)代產(chǎn)業(yè)工人的卓越風(fēng)采。

攻堅(jiān)克難填補(bǔ)國(guó)內(nèi)空白

2005年，在余姚電器機(jī)械修理領(lǐng)域已小有名氣的羅明浩加入創(chuàng)立不久的江豐電子，被邀請(qǐng)參與設(shè)計(jì)中國(guó)第一條超大規(guī)模集成電路用靶材生產(chǎn)線，主導(dǎo)生產(chǎn)線大型關(guān)鍵設(shè)備的設(shè)計(jì)、安裝和調(diào)試。

“當(dāng)時(shí)我們國(guó)內(nèi)所使用的超高純金屬材料及濺射靶材全部依賴進(jìn)口，市場(chǎng)完全被日本和美國(guó)的跨國(guó)公司壟斷。”羅明浩說(shuō)，“我覺(jué)得肩上擔(dān)子沉甸甸的，但我就不信外國(guó)人能造出來(lái)的東西，我們中國(guó)人不行！”

憑著這股拼勁，羅明浩帶領(lǐng)團(tuán)隊(duì)成員全身心投入到生產(chǎn)線的建設(shè)中。短短幾個(gè)月里，他的足跡遍布全國(guó)各地。設(shè)計(jì)生產(chǎn)線，需要用什么材料？為什么要用這樣的材料？怎么用最好？……他一步一步摸索著前行，一個(gè)一個(gè)地解決出現(xiàn)的問(wèn)題。

就這樣，憑借專業(yè)積累，羅明浩結(jié)合半導(dǎo)體靶材設(shè)備實(shí)際需要，設(shè)計(jì)改造了大批國(guó)產(chǎn)設(shè)備，為中國(guó)第一代半導(dǎo)體用高純鋁靶、鈦靶、銅靶、鉭靶、鉬靶、LCD靶等的制造作出了重要貢獻(xiàn)。

產(chǎn)線設(shè)備問(wèn)題解決了，新的問(wèn)題接踵而來(lái)。江豐電子成立初期，由于國(guó)外技術(shù)壟斷，原材料都是進(jìn)口，成本較高，如何將鑄造自主化，成了羅明浩心中最記掛的事。“其實(shí)早在成立之初，公司就有了原材料自主化的打算。但由于受到場(chǎng)地和技術(shù)的限制，這一計(jì)劃遲遲未能實(shí)現(xiàn)。”羅明浩說(shuō)。2011年，江豐電子的2號(hào)廠房建成，公司在一樓單獨(dú)開(kāi)辟了一間精煉鑄造室。有了場(chǎng)地，羅明浩全身心地投入到設(shè)備的研制中。

“當(dāng)時(shí)，這一領(lǐng)域國(guó)內(nèi)還沒(méi)有人涉足，沒(méi)有前人經(jīng)驗(yàn)可供參考，一切得靠自己動(dòng)腦筋。”羅明浩說(shuō)，“我們也只能從零開(kāi)始一點(diǎn)點(diǎn)學(xué)習(xí)、摸索。”經(jīng)過(guò)無(wú)數(shù)個(gè)通宵達(dá)旦的努力，羅明浩和同事們逐一解決了爐體高真空和鋁液的除氣、爐體的液壓控制、澆道的保溫控制、鑄造水溫控制、鑄造速度控制等一系列問(wèn)題。

（左圖）羅明浩獲得2022年度全國(guó)五一勞動(dòng)獎(jiǎng)?wù)隆?/p>

2015年，國(guó)內(nèi)第一個(gè)高純鋁精煉鑄造系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)了運(yùn)轉(zhuǎn)，打破了國(guó)外企業(yè)對(duì)該項(xiàng)技術(shù)的壟斷，首次實(shí)現(xiàn)該產(chǎn)品的國(guó)產(chǎn)化，填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)在這一領(lǐng)域的空白。

如今，江豐電子進(jìn)入國(guó)際主流半導(dǎo)體制造企業(yè)之列，銷售網(wǎng)絡(luò)覆蓋歐洲、北美及亞洲各地，其生產(chǎn)的超高純金屬靶材憑借卓越性能贏得了國(guó)際主流半導(dǎo)體市場(chǎng)客戶的認(rèn)可。

精益求精肩負(fù)重?fù)?dān)不停歇

2013年，江豐電子從歐洲進(jìn)口了行業(yè)內(nèi)尖端的大型分析儀器——VG9000輝光放電質(zhì)譜儀。這臺(tái)設(shè)備可以檢測(cè)出濺射靶材里所含的十億分之一的雜質(zhì)，以及雜質(zhì)中各類金屬的精確含量，對(duì)純度的測(cè)定可精確到99.9999%。“芯片中密布著上萬(wàn)米金屬導(dǎo)線，這些導(dǎo)線比頭發(fā)絲的千分之一還細(xì)，而純度就是金屬最核心的要素。普通金屬一般能達(dá)到99.8%的純度，但制作芯片的金屬純度則要求達(dá)到99.9999%。這也是公司進(jìn)口這臺(tái)分析儀器的原因。”羅明浩介紹道。

沒(méi)想到設(shè)備初到中國(guó)就水土不服，使用中出現(xiàn)故障，遲遲不能正常檢測(cè)。由于設(shè)備精密程度高，設(shè)計(jì)復(fù)雜，維修難度較高，當(dāng)時(shí)只有極個(gè)別的外籍專家掌握這項(xiàng)維修技術(shù)，聘請(qǐng)他們過(guò)來(lái)維修花費(fèi)高、周期長(zhǎng)，于是這個(gè)重?fù)?dān)又落在了羅明浩頭上。

羅明浩在檢測(cè)室里安了家，天天對(duì)著這臺(tái)機(jī)器冥思苦想，一點(diǎn)一點(diǎn)地改造調(diào)試。經(jīng)過(guò)近半年的研究與摸索，他終于修好了設(shè)備，并且讓這臺(tái)高精尖儀器完全適應(yīng)國(guó)內(nèi)現(xiàn)場(chǎng)要求，江豐電子自此掌握了自主維修技術(shù)。

除了解決設(shè)備難題，羅明浩也為實(shí)驗(yàn)室的建立出謀劃策。在他的協(xié)助下，分析檢測(cè)中心成功落成，為江豐電子成為一流的超高純金屬材料及濺射靶材生產(chǎn)基地打下扎實(shí)的基礎(chǔ)。

在公司不斷發(fā)展中，羅明浩先后參與多項(xiàng)高技術(shù)產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目，積極推進(jìn)項(xiàng)目立項(xiàng)、設(shè)備研發(fā)等，為項(xiàng)目的順利開(kāi)展貢獻(xiàn)自己的力量。

發(fā)光發(fā)熱實(shí)現(xiàn)價(jià)值最大化

2014年，余姚市工會(huì)惠企技師服務(wù)隊(duì)成立后，羅明浩和團(tuán)隊(duì)成員積極參加工會(huì)組織的各項(xiàng)惠企活動(dòng)，幫助企業(yè)解決技術(shù)難題。

（右圖）羅明浩（左）給年輕員工進(jìn)行技術(shù)指導(dǎo)。

去年，受臺(tái)風(fēng)“煙花”影響，余姚市三七市鎮(zhèn)、河姆渡鎮(zhèn)多家中小微企業(yè)的設(shè)備出現(xiàn)故障。“當(dāng)時(shí)我們整個(gè)車間的數(shù)控機(jī)床都泡在水里，羅師傅帶著人來(lái)了幾次，幫我們一起搶修，還把一些大功率的電動(dòng)機(jī)拿回去修，真是幫了我們大忙。”鑫光軸承廠廠長(zhǎng)戚忠平說(shuō)。

做好突擊性技術(shù)幫扶的同時(shí)，羅明浩和團(tuán)隊(duì)成員還努力將技術(shù)幫扶做到長(zhǎng)效化、常態(tài)化。“公司一臺(tái)設(shè)備的電路氣路、液壓系統(tǒng)技術(shù)要求比較高，遇到一些大問(wèn)題廠里的技術(shù)員解決不了，只有羅工團(tuán)隊(duì)的技術(shù)員有這個(gè)能力。每次我們有需求，他們都是有求必應(yīng)。”寧波綠菱新材料科技有限公司負(fù)責(zé)人潘善勤說(shuō)。

2016年，羅明浩創(chuàng)立浙江省、寧波市兩級(jí)技能大師工作室及勞模創(chuàng)新工作室。除了攻關(guān)公司技術(shù)難題，羅明浩還帶領(lǐng)工作室成員承擔(dān)了改造各種檢測(cè)設(shè)備的任務(wù)，尤其在節(jié)能降耗及材料晶粒控制方面，他們自主設(shè)計(jì)制造的均溫爐在性能上超過(guò)了國(guó)內(nèi)各類恒溫爐，每年可為江豐電子節(jié)約電費(fèi)108萬(wàn)元。而在公司海外工廠及國(guó)內(nèi)分廠的建設(shè)中，也是羅明浩帶著工作室成員承擔(dān)了各類設(shè)備設(shè)施的設(shè)計(jì)安裝等工作，及時(shí)解決實(shí)際生產(chǎn)中遇到的問(wèn)題，為企業(yè)創(chuàng)造了巨大的經(jīng)濟(jì)效益。目前，工作室已累計(jì)申請(qǐng)專利114項(xiàng)。

“我們需要更多技術(shù)工人！”羅明浩常說(shuō)要多把目光放在年輕人身上，多給年輕人機(jī)會(huì)。他通過(guò)一對(duì)一輔導(dǎo)、師徒傳幫帶活動(dòng)為公司培養(yǎng)了多名技師、高級(jí)技師及工程師。2018年，羅明浩被寧波市人力資源和社會(huì)保障局特聘為職業(yè)技能鑒定專家，為寧波市的高技能人才選拔貢獻(xiàn)力量。

“關(guān)鍵核心技術(shù)是要不來(lái)、買(mǎi)不來(lái)、討不來(lái)的。”這句話始終銘記在羅明浩的心中。技術(shù)工人隊(duì)伍是支撐中國(guó)制造、中國(guó)創(chuàng)造的重要力量，“我將繼續(xù)努力，貢獻(xiàn)更多力量。”他說(shuō)。■