一種傳感器單晶硅刻蝕裝置的送氣設備

申請號: 202210134941.9

【申請日】2022.02.14

【公開號】CN114496711A

【公開日】2022.05.13

【分類號】H01J37/32; H01L21/67

【申請人】淮安納微傳感器有限公司

【發明人】奎建明

【摘 要】本發明涉及單晶硅刻蝕送氣設備安全檢測技術領域，具體涉及一種傳感器單晶硅刻蝕裝置的送氣設備，包括送氣設備本體，還包括氣體流量計、溫度傳感器、電子顯微鏡和處理器構成的檢測系統；處理器用于獲取實時氣體占比向量、實時氣壓變化序列、實時溫度變化序列和實時刻蝕結果向量；計算實時氣壓向量和溫度的實時穩定程度，根據實時氣壓向量、實時溫度、實時氣壓變化序列、實時穩定程度、實時氣體占比向量、實時刻蝕結果向量和其對應的標準數據特征之間的差異得到送氣設備的評價值。本發明通過該檢測系統對送氣設備進行了檢測評估，確保了送氣設備的可靠性，保證了刻蝕結果的穩定性。