一種三氯化硼的純化裝置

申請(qǐng)(專利)號(hào)：CN202121802320.0

公開(公告)日：2022-03-15

申請(qǐng)(專利)人：重慶凱益特種氣體有限公司

摘要：本實(shí)用新型公開了一種三氯化硼的純化裝置，涉及電子氣體裝置技術(shù)領(lǐng)域。本實(shí)用新型包括三氯化硼原料瓶，三氯化硼原料瓶的一端通過管道連接有第一加熱箱，第一加熱箱的一端通過管道連接有減壓閥，減壓閥的一端通過管道連接有高溫爐，高溫爐一側(cè)的底部設(shè)置有出料管道，高溫爐的一端通過管道連接有冷卻器，冷卻器的一端通過管道連接有吸附器。本實(shí)用新型通過冷卻器、吸附器、過濾器和精餾塔的配合，使得裝置在使用時(shí)能夠便于將低純度的三氯化硼提純?yōu)楦呒兌热然穑彝ㄟ^第一氣管、第二加熱箱、第二氣管、氮?dú)鈨?chǔ)存瓶和連接柱的配合，使得裝置在使用時(shí)能夠便于通過加熱后的氮?dú)鈱?duì)吸附飽和后的分子篩進(jìn)行再生。