曹建偉：打造半導體材料高端裝備強企

曹建偉

浙江晶盛機電股份有限公司黨委書記、董事長

2006年，浙江大學的一批教授和博士懷著“半導體高端裝備國產化”夢想，創立了晶盛機電，并于2012年上市。至今，公司已連續五年利稅位居中國電子專用設備行業首位，連續三屆獲中國創業板最具成長性上市公司十強，已成長為我國半導體材料及裝備的龍頭企業。

公司董事長曹建偉博士帶領團隊全面布局半導體裝備產業鏈，研發了多項首創技術，補齊了多項空白短板，開發了多項核心裝備，實現了8—12英寸半導體大硅片核心生長和加工裝備從全部依賴進口到基本國產化的轉變。同時，在碳化硅、藍寶石等化合物半導體材料新興領域，從裝備制造向晶體材料深加工延伸，攻克行業“卡脖子”難題，實現半導體關鍵材料設備國產化，象牙塔里的夢想一步步變成現實。

“科研是我們的強項，也是我們唯一的出路。”曹建偉始終堅持親手抓研發。2009年和2011年，晶盛機電分別承接了兩項國家科技重大02專項課題——“300mm硅單晶直拉生長設備的開發”和“8英寸區熔硅單晶爐國產設備研制”，項目不僅順利通過專家組驗收，還相繼研發成功連續引晶技術等多項國內外領先技術。

“技術領先，規模投產”是曹建偉對晶盛機電研發的一貫要求。2年研發出全自動單晶硅生長爐，改變世界半導體材料裝備格局；7年攻關藍寶石晶體生長技術，從零開始迅速成為技術、規模絕對領先的行業龍頭；如今，圍繞第三代半導體用碳化硅，晶盛機電發起新一輪攻堅，推動關鍵裝備和材料的國產化跨越。

“我們追求做偉大的產品，而不是短期的利潤。不止是做第一，而是要做絕對的第一。”曹建偉對產品定位有苛刻要求。2018年，全球首顆450kg藍寶石晶體面世。時隔一年，700kg級全球最大的藍寶石晶體再次被刷新紀錄，樹立了晶盛機電在藍寶石領域的領先地位。面對半導體用高端石英坩堝全部依賴進口的局面，公司用3年多的時間，成功研發出12英寸晶體用的32—40英寸半導體級石英坩堝，再次達到技術國際先進，實現進口替代，并實現了半導體用石英坩堝國內市占率第一。目前，晶盛機電成功生長出8英寸N型碳化硅晶體，實現大尺寸碳化硅晶體生長和加工技術的自主可控，進一步提升了企業在第三代半導體材料端的競爭力。

“晶盛機電從科研起家，也必須靠科研發展壯大！”這是曹建偉堅信的理念。近年來，晶盛機電的研發經費占營業收入比例保持在5%～8%，2022年前三季度，共投入研發費用5.1億元，同比增長106.64%。

為持續推進產業創新，晶盛機電不斷加大人才引育力度，公司研發技術人員已超1000人，擁有博士20多人，其中碩士及以上人員占比近20%。曹建偉與管理團隊研究決定，從2019年開始推進人力資源變革和流程管理變革，實施從職能型管理向流程型管理轉變，建立了“核心增值流、業務監控流、賦能支持流”三大類流程運行體系，打造高效率的生產制造過程和裝配零缺陷的產品交付能力。

晶盛機電正奮力奔跑在半導體材料和裝備研發制造這條賽道上，為實現半導體產業自立自主自強貢獻力量。