BaTiO3基超薄層BME MLCC的可靠性機理

摘要：多層陶瓷電容器（Multilayer ceramic capacitors，MLCC）作為市場占有率最高的無源電子元器件，是基礎電子元件產業中需要突破關鍵技術的重點產品之一，在汽車電子、5G通訊、電網調頻、航空航天等領域有廣泛的應用。在小型化、薄層化發展趨勢下，MLCC的介質層厚度不斷降低，單層介質在相同電壓下的電場顯著增大，尤其是中高壓超薄層MLCC。因此，MLCC的可靠性愈發成為一項關鍵的產品質量指標。本文結合加速老化測試、高溫阻抗譜、漏電流測試，系統研究超薄層MLCC的劣化機理，揭示抑制氧空位的遷移與富集是保證超薄層MLCC可靠性的重中之重。為此，應減小介質層內部的氧空位濃度，增大其遷移所需的激活能，提高界面肖特基勢壘，從而提升超薄層MLCC的可靠性。本文的研究成果為超薄層MLCC介質材料的設計提供了有力指導。

關鍵詞：鈦酸鋇；多層陶瓷電容器；可靠性；加速老化；氧空位

中圖分類號：O646