高功率準分子激光沉積類金剛石膜的熱穩定性
2003-04-29 15:31:05金哲李俊杰蓋同樣林景波李哲奎張壽彭鴻雁金曾孫
吉林大學學報(理學版) 2003年4期
金 哲 李俊杰 蓋同樣 林景波 李哲奎 張 壽 彭鴻雁 金曾孫
提要：在不同溫度下(200—800℃)將高功率準分子激光濺射方法沉積的類金剛石膜進行退火實驗．利用Raman和XPS光譜分析類金剛石膜在退火過程中的化學鍵合結構變化．結果表明，類金剛石膜是由少量的SP2C鍵和大量的SP3C鍵組成的非晶態碳膜．在退火溫度小于600℃范圍內，類金剛石膜的熱穩定性較好；退火溫度高于600℃時，類金剛石膜中的SP3C鍵逐漸向SP2C鍵轉變，當退火溫度升到800℃時，類金剛石膜中SP3C鍵含量由退火前的大約70％下降到40％．可見，高溫退火能導致類金剛石膜的石墨化趨勢．
關鍵詞：準分子激光沉積；類金剛石膜；熱穩定性；退火溫度
中圖分類號：0484．5
文獻標識碼：A
文章編號：167l—5489(2003)04—0497—04
