微器件制造特征信息描述與輸入方法的研究

汪繼亮等

摘要：以硅基加工為研究對象，提出了一種基于特征的多層次體面相結合的微器件信息描述模型與相應的輸入方法．該方法將微器件的三維幾何結構按加工層進行分解，每一層由層主特征和若干輔助特征組成，建立了完整的微器件三維和二維表面制造特征，并與硅基微加工方法相聯系，反映了微加工工藝的約束條件，且具有確切的加工形狀．同時，將微器件信息描述為總體—加工層—特征—屬性4級模式，在制造特征輸入過程中，形成特征索引樹及特征之間的關系，因此很好地表達了微器件的幾何信息和工藝信息，為隨后確定微器件的加工方法和工藝順序提供了信息基礎．

關鍵詞：微機電系統；微器件；制造特征；信息描述；計算機輔助工藝設計

中圖分類號：TP391．73文獻標識碼：A文章編號：0253—987X(2003)01-0081—04