MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))器件可同時(shí)結(jié)合機(jī)械功能和電子電路,一般采用半導(dǎo)體工藝來(lái)制造從微米到毫米級(jí)的器件。MEMS器件的應(yīng)用范圍非常廣泛,包括傳感器、液體力學(xué)、光學(xué)、RF、存儲(chǔ)和生物技術(shù)應(yīng)用。
電子產(chǎn)品世界2004年1期
1《師道·教研》2024年10期
2《思維與智慧·上半月》2024年11期
3《現(xiàn)代工業(yè)經(jīng)濟(jì)和信息化》2024年2期
4《微型小說(shuō)月報(bào)》2024年10期
5《工業(yè)微生物》2024年1期
6《雪蓮》2024年9期
7《世界博覽》2024年21期
8《中小企業(yè)管理與科技》2024年6期
9《現(xiàn)代食品》2024年4期
10《衛(wèi)生職業(yè)教育》2024年10期
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