英飛凌公司Gerald Deboy Fanny Dahlquist Uwe Wah
前言

CoolMOS CS系列“超級結”MOSFET器件高壓設備的成功是基于1 9 9 8年英飛凌公司推出的CoolMOS技術。這些器件的優越性能實現了區域導通電阻的大幅度降低。為了防止過早的電壓擊穿,載流子得到了相鄰漂移區內p一區的補償。P一區與導電n一區緊密封閉在一起。在阻斷狀態下,這些相鄰的n一區域和p一區域通過移動載流子相互耗盡?!俺壗Y”技術的名稱是從融合的PN結結構產生的三維表面得來的。這一原理為客戶創造了無與倫比的MOSFET性能。
器件特點
圖1對當今T0220封裝中幾種器件的導通電阻值進行了比較。傳統MOSFET受到所謂的硅極限的限制?!俺壗Y”原理可以讓英飛凌最新技術將標準T0220封裝中的導通電阻大幅度削減至99 m。區域導通電阻與傳統MOSFET相比降低了5倍多。
換句話說,在這種技術下,給定導通電阻所需要的芯片尺寸是傳統功率MOSFET技術所需尺寸的1/5。大幅度的芯片尺寸縮小與設備電容的減少一致,后者是快速開關的關鍵。將這些低電容與高速柵信號擴展結合在一起,我們保證所有的MOS單元可以同時開關??梢酝ㄟ^常用方法,即設置一個合適的柵電阻值,來實現開關速度控制。
通過提高摻雜水平來降低導通電阻,通常不支持低柵電荷。這個矛盾是通過新的柵結構解決的,使柵漏電荷比前一代技術要低3倍。這實現了世界上最低記錄的FoM(R。×Qg)值,而且柵漏、柵源電荷比值Qgd,Qgs小于1.5,這是非常有利的結果。
圖2顯示了圖1中器件的FoM(R?!罳。)值比較,我們最新系列產品顯示的是5wnc,不到傳統MOSFET值的1/10?!?br>