碳納米涂層材料的二次電子發射系數及工藝研究
2012-04-12 00:00:00楊晶崔萬照賀永寧
現代電子技術 2012年20期
摘要：采用電泳沉積制備薄膜的方法，在鋁合金鍍銀片上均勻的涂覆納米碳涂層。研究了不同的電泳電壓及電泳時間對涂層形貌結構的影響。掃描電子顯微鏡（SEM）、二次電子發射系數（SEY）測試結果表明，保持陰陽極間距為1cm，在30 V的直流電壓下電泳15min所獲得的樣片涂層均勻、連續、致密且具有明顯的陷阱結構。實驗表明，其SEY最大值σmax 達到2.03，對應的入射能量為500eV，E1能量點在60eV。使用Ar離子轟擊清洗表面10min后，樣片的SEY最大值σmax 達到1.76，對應的入射能量Emax為400 eV，E1能量點在80 eV。
關鍵詞：納米碳涂層； 電泳沉積； 薄膜； 二次電子發射； SEY
中圖分類號：TN710-34文獻標識碼：A
文章編號：1004-373X（2012）20-0143-03
