摘要:研究了200 kV場發射槍透射電子顯微鏡(TEM)場發射槍的通信控制原理。上位機PLC采用ModBus協議與下位機200 kV場發射槍通信控制板通信,下位機場發射槍通信控制板與電子槍被控對象采用三條總線形式的I2C協議,基于兩種不同協議之間的通信控制,設計了兩種協議之間的轉換控制模塊,實現了上位機PLC和下位機200 kV場發射槍電源之間的數據可靠通信,給出了對200 kV場發射槍透射電子顯微鏡場發射槍電源通信控制的軟硬件設計。
關鍵詞:TEM; 場發射槍; ModBus; I2C
中圖分類號:TN16-34文獻標識碼:A文章編號:1004-373X(2012)23-0181-03