雙金屬電弧離子蒸發源的研制
2012-04-29 20:32:01胡志杰李爭顯
科技創新導報 2012年13期
胡志杰 李爭顯
摘 要:闡述了雙金屬電弧離子蒸發源的設計原則及結構。利用雙金屬電弧離子蒸發源成功制備了TiAlN膜層,并對優化的制備參數做了簡要介紹。
關鍵詞:電弧離子鍍離子蒸發源研制
中圖分類號:TG174 文獻標識碼:A 文章編號:1674-098X(2012)05(a)-0014-02
胡志杰 李爭顯
摘 要:闡述了雙金屬電弧離子蒸發源的設計原則及結構。利用雙金屬電弧離子蒸發源成功制備了TiAlN膜層,并對優化的制備參數做了簡要介紹。
關鍵詞:電弧離子鍍離子蒸發源研制
中圖分類號:TG174 文獻標識碼:A 文章編號:1674-098X(2012)05(a)-0014-02
