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加楔塊超聲相控陣的聚焦特性測試

2012-07-01 11:38:54劉曉睿強天鵬鄔冠華
無損檢測 2012年11期
關鍵詞:晶片深度

劉曉睿,強天鵬,鄔冠華

(1.蘇州熱工研究院有限公司,蘇州 215004;2.江蘇省特種設備安全監督檢驗研究院,南京 210003;3.南昌航空大學 無損檢測技術教育部重點實驗室,南昌 330063)

1 相控陣聚焦原理

超聲相控陣區別于常規超聲的兩個重要特性是聲束偏轉和聚焦。所謂“聲束聚焦”是指由于各個晶片距離焦點的聲程不同,通過改變晶片間的延時時間,讓距離焦點遠的晶片先發射信號,而距離焦點近的晶片后發射信號,從而使各個晶片發射的信號同時到達焦點,并在一個小區域內 形成一個高強度聲場。假設晶片間的距離為p,聚焦深度為F,介質中的聲速為c,則各個晶片的延時時間為:

式中n為晶片序號;t0是為了防止出現一個負的延時時間而設置的時間常數。

2 安裝楔塊條件下相控陣聚焦能力測試

2.1 測試裝置

試驗使用的儀器是OLYMPUS公司的OmniScan MX 32:128便攜式相控陣檢測儀,利用TomoView軟件進行數據判讀。采用的探頭是5L64A2,共有64個晶片,晶片間的距離(pitch)為0.6mm。采用的試塊是 ASTM E2491—2008[1]附錄中的圖A1.1所示的試塊,試塊中橫孔為φ2mm×25mm,相鄰孔深度和水平間距均為5mm。此項試驗中采用特定角度編碼器B掃,安裝的楔塊是SA2-N55S,折射角度為55°,激發晶片數量是8個、16個和32個,設置的聚焦深度為:10,50,100,150,200mm。

試驗條件基于ASTM E2491—2008的附錄1,測試相控陣的偏轉和聚焦能力,在掃查上使用帶編碼器線掃。試塊及掃查示意見圖1。

2.2 近場區計算結果

利用公式:

式中Neff——近場長度;

k矩形——近場長度修正系數;

L——探頭長度;

β——聲束折射角;

α——聲束入射角;

L斜楔——楔塊中聲程;

v試件——試件聲速;

v斜楔——楔塊聲速。

計算得到不同晶片數和不同折射角的探頭的近場區見表1。

圖1 相控陣聚焦能力的測試

表1 帶有楔塊的相控陣探頭在工件中的近場區 mm

此次試驗激發的起始晶片都是探頭的第一個晶片,從表1的數據可以看出,由于激發孔徑的近場區是一定的,斜探頭加裝楔塊后,楔塊中聲程占據了一部分近場區。在激發8個晶片時,近場區都在楔塊中,激發16個晶片時,近場區也基本在楔塊中,工件中的近場區范圍非常小。激發32個晶片時,工件中有一定的近場區,其值隨著掃查角度的增大而減小。

2.3 試驗結果

試驗中利用6dB法測量焦點尺寸,當波幅太低且無法用6dB法測量時,結果用“不能分辨”注釋。圖2~4、表2給出了加裝楔塊后的聚焦能力測試結果,此處省略了聚焦深度為150mm的數據。

2.4 分析

通過以上表格中的數據可以看出,不管是激發8個、16個還是32個晶片,同聚焦深度下,角度45°時聚焦焦點最小,聚焦聲束最均勻,聚焦效果最好,其余依次是35°,60°和70°。

圖3 激發16個晶片不同聚焦深度不同偏轉角度的聚焦能力

在8個晶片激發狀態下,不同角度相同聚焦深度設置下,聚焦效果基本上相同;在16個晶片激發狀態下,只有聚焦深度在10mm時焦點才小于2倍孔徑,聚焦深度50,100,200mm下聚焦聲束基本相同,且焦點大小都超過2倍孔徑;在32個晶片激發狀態下,只有聚焦深度在10和50mm時部分角度的焦點小于2倍孔徑,聚焦深度100,200mm下聚焦焦點都超過2倍孔徑。

在8個晶片激發狀態下,所有的結果都不能在所設定的位置聚焦,深度越小焦點越小,深度越大焦點越大,焦點大小都超過2倍孔徑;在16個晶片激發狀態下,所有的結果都不能在所設定的位置聚焦,不同角度下最小焦點的實際深度只能達到15~30mm;在32個晶片激發狀態下,所有的結果實際最小焦點的聚焦深度都小于所設置的聚焦深度,相同的聚焦深度不同角度設置下,角度越小,最小焦點的實際聚焦深度越大。

另外,在16個晶片激發狀態下,聚焦深度超過50mm時,改變聚焦深度對聚焦聲束改變不明顯,在32個晶片激發狀態下,聚焦深度超過100mm時,改變聚焦深度對聚焦聲束改變也不明顯。

圖4 激發32個晶片不同聚焦深度不同偏轉角度的聚焦能力

表2 加楔塊激發不同晶片數的相控陣聚焦的焦點尺寸1) mm

續表2 mm

3 結論

(1)楔塊對聚焦能力的影響主要是聲束角度和聲程(延遲),因此不同的楔塊可以改變探頭的角度覆蓋范圍和實際焦點深度,相比無楔塊的設置,加裝斜楔塊進行橫波檢測時,大部分近場區都在楔塊內,工件中近場區很小,致使工件中聚焦能力變差,聚焦范圍變小。在相同激發晶片數的情況下,角度越小,在工件中的近場區就越大。在激發晶片數為8和16時,隨著角度的增大,聚焦能力變弱。在激發16和32個晶片時,除非聚焦深度過大,一般小角度有較好的聚焦能力。

(2)激發晶片數量越多,聚焦能力越強,能獲得的焦點尺寸會越小,實際焦點深度會越大。

(3)焦點尺寸隨聚焦深度的增加而增大。隨著激發晶片數量的增加,工件中的聚焦能力變強,聚焦范圍變大,但是在激發晶片數量過大(激發32個晶片)時,由于晶片孔徑的原因,導致深度較淺的孔連在一起,無法分辨。

(4)同樣激發晶片數量的情況下,實際焦點尺寸與楔塊的角度以及聲程有關,同聲程時設置角度越接近楔塊角度,實際焦點越小;同角度情況下,聲程越小,實際焦點越小;二者當中,聲程對焦點尺寸的影響大于設置角度的影響。

(5)設置角度越接近楔塊的主聲束角度,聲束越均勻,分辨率更好。

[1]ASTM E 2491—2008 Standard Guide for Evaluating Performance Characteristics of Phased Array Ultrasonic Examination Instruments and Systems[S].

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