高精度測量機測頭結構的設計與分析
2013-10-09 06:02:58盛碩陳賀楊橋
中國信息化·學術版 2013年5期
盛碩 陳賀 楊橋
引言
隨著納米技術和精密加工技術的發展，對精密測量技術和高精度計量檢測設備要求越來越高。各國研究所和各大高校投入大量的人力和物力在高精度的計量測量設備的研發上，高精度的微納測量平臺需要高精度的測頭相匹配，高精度的測頭的研發成為測量領域的趨勢。
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