綜合利用MOCVD設備尾氣的裝置

申請(專利)號:201420277522.1

公開(公告)日:2014－11－26

申請(專利權)人:安徽亞格盛電子新材料有限公司

本實用新型提供一種綜合利用MOCVD設備尾氣的裝置，MOCVD的尾氣通過管道進入低壓緩沖罐，低壓緩沖罐通過壓縮機連接于高壓緩沖罐，高壓緩沖罐管道連接于預冷交換器上，預冷交換器下端管道連接有低溫冷凝器，低溫冷凝器下方管道連接有氣液分離器，氣液分離器的下端通過液氨泵與液氨儲槽連接、頂端管道連接于分子篩吸附柱上，分子篩吸附柱上端連接在變壓吸附柱上，變壓吸附柱管道連接于氫氣儲罐。本實用新型結構簡單，能夠對MOCVD尾氣進行有效分離，液氨和氫氣被回收，可直接應用到其他行業，氮氣可以直接排放，綜合利用率高，且沒有安全和環保的問題。