太和氣體(荊州)有限公司(以下簡稱“公司”)投資建設的高純電子級氯化氫項目于2014年9月正式投產,產品純度最高可達到99.999%,設計產能800 t/a,為國內最大的電子級氯化氫制造商。
電子級氯化氫主要用于外延生長前硅和砷化鎵高溫氣相刻蝕,清除鈉離子。另外高純氯化氫也用于金屬表面化學處理,激光用混合氣、膠片生產及碳纖維表面處理。隨著半導體市場需求的增加,氯化氫作為重要氣體材料,其用量也將逐年增長。
電子級氯化氫的生產絕大多數采用尾氣回收精餾的方式,由于尾氣中有部分未知雜質無法通過精餾純化的方式去除,產品質量存在一定的隱患。為了提高電子級氯化氫的質量穩定性,公司吸收國內外的先進技術經驗,采用高純氯和高純氫合成反應生產氯化氫氣體,最大限度地避免了未知雜質對產品純度的影響。同時,公司依托Linggas的研發團隊對生產工藝流程進行改良創新,實現質量穩定、安全可靠的規模化生產。