《電子工業專用設備》第43卷（2014）目次總匯編

趨勢與展望

激光軟釬焊技術在SMT 領域內的現狀與展望.........................................................韓 彬，檀正東，周 旋，等1-1

微組裝關鍵工藝設備技術平臺研究.........................................................................................................王貴平1-8

CMP 透明膜厚測量設備發展歷程............................................................................周國安，王東輝，李 偉，等2-1

集成電路工藝中減薄與拋光設備的現狀及發展...........................................................費玖海，楊 師，周志奇2-6

將科技資金“用到刀刃上”.......................................................................................................................于燮康3-19

半導體的行業挑戰與摩爾定律...............................................................................................................程建瑞3-23

變化中的全球半導體設備市場...............................................................................................................蔡 穎3-31

450 mm 晶圓CMP 設備技術現狀與展望.................................................................................柳 濱，周國安3-33

以技術創新推動晶體硅太陽能電池智慧生產線建設.............................................................謝建國，趙加寶3-37

生瓷帶沖孔工藝設備應用及發展趨勢.......................................................................................張曉云，唐卓睿5-1

TSV 制程關鍵工藝設備技術及發展...........................................................................................魏紅軍，段晉勝5-7

第十二屆中國半導體封裝測試技術與市場年會暨半導體技術與產業發展高峰論壇圓滿閉幕......................6-1

光刻機照明系統專利分析.......................................................................................張海波，林嫵媚，廖志杰，等8-1

微電子組(封)裝技術的新發展.................................................................................龍緒明，羅愛玲，賀海浪，等9-1

倒裝芯片鍵合技術發展現狀與展望...........................................................................葉樂志，唐 亮，劉子陽11-1

LTCC 零收縮控制技術研究進展................................................................................楊 金，鄧 斌，萬喜新11-6

測試測量技術與設備

基于PMAC 的PID 調節在飛針測試系統中的應用............................................李 斌，田洪濤，呂 磊，等1-13

聲學掃描檢測系統的運動控制方法研究...................................................................黃曉鵬，張繼靜，呂榮華1-19

提高探針臺測試效率的方法研究...........................................................................................................羅 楊1-24

提高晶圓掃描效率的方法研究...............................................................................................................羅 楊3-42

CTA8280 集成電路測試系統的研究應用..............................................................................................鐘鋒浩3-48

薄膜電路通孔結構光刻膠噴涂工藝...........................................................................魏曉旻，柳龍華，邱穎霞4-42

溫度對半導體封裝設備光學系統的影響...................................................................于麗娜，蔣云龍，田 志4-46

超聲設備掃描路徑研究.........................................................................................周慶亞，付純鶴，魏 鵬，等4-50

高精度機器視覺對準測量系統設計.........................................................................................徐 兵，周 暢5-33

刀體破損檢測技術在劃片機中的應用.................................................................孫 彬，郎小虎，王宏智，等5-38

飛針測試儀通訊控制優化..........................................................................................左 寧，呂 磊，劉國敬8-42

基于FPGA 的頻率測試系統.......................................................................................張雄剛，李會峰，霍軍軍8-46

太陽能電池測試分選設備運動控制系統設計.....................................................唐超凡，賈京英，王 娟，等9-37

光柵編碼器介紹與應用...........................................................................................................................劉 帥9-42

機器視覺在焊點檢測中的應用.................................................................................楊英豪，柳 青，崔 潔11-29

非接觸間隙檢測.........................................................................................................賈亞飛，蒲繼祖，張云鵬11-33

IC 制造與設備

多線切割機運行參數記錄方法的研究.......................................................................高建利，劉玉倩，侯為萍1-28

遺傳算法在濕法刻蝕設備溫度PID 控制中的應用...................................................孫 敏，張金鳳，鄭佳晶1-31

采用高壓NMP 實現全自動去膠技術.......................................................................................王 沖，汪 鋼5-11

LPVCD 的原理與故障分析.....................................................................................................................張士偉5-15

電容式觸摸屏點膠貼合技術與設備研究...................................................................段青鵬，劉永立，趙乃輝5-19

IC 編帶機雙擺桿取料機構的設計與研究..............................................................................................任曉慶5-24

ASML 掃描機與NIKON 步進機的匹配技術.............................................................................程建瑞，吳成功6-3

離子注入機質量分析器線包溫度場研究.............................................................彭立波，張 賽，羅才旺，等6-12

移動式硅片退火設備的研制.....................................................................................................張繼光，賈 鑫6-16

涂膠顯影機的產能設計...............................................................................................................胡延兵，尹 寧8-8

直拉區熔聯合法硅單晶生長技術研究.................................................................龐炳遠，閆 萍，索開南，等8-11

300 mm 快速升降溫爐體的研究.............................................................................................................孫少東8-15

單晶爐保溫與熱屏優化的數值模擬與改造...............................................................耿博耘，劉 鋒，韓煥鵬8-20

基于外參考干涉對準技術的對準系統信號處理方法.............................................................................唐文力9-8

多線切割工藝斷線問題的分析...................................................................................苗廣志，馬玉通，趙文華9-14

太陽能級單晶爐熱場的適應性改造研究.............................................................韓煥鵬，劉 鋒，周傳月，等9-17

承載器殘余真空分析...................................................................................................李 巖，詹 陽，涂佃柳9-22

半導體設備視覺清晰化技術研究...............................................................................楊 帆，高 岳，孫廣翔10-1

游離磨粒切割法和金剛石線切割法切割SiC 的對比.........................................王 磊，王添依，張 弛，等10-5

磁控濺射ITO 薄膜結構和性能的研究.......................................................................陳 晨，楊洪星，唐文虎10-8

不同生產工藝對硅片表面翹曲及機械性能的影響...............................................................劉 洋，劉玉玲10-14

MOCVD 的原理與故障分析..................................................................................................................李彥麗11-36

PLC 在全自動太陽能制絨清洗設備中的應用.....................................................................................宋婉貞11-41

全自動引線鍵合機通信接口保護電路設計.............................................................紀青松，丁 毅，柳 青11-45

最小二乘法在拋光設備壓力控制中的應用...............................................................孫振杰，王君鋒，程啟忠12-1

半導體生產廠房化學液集中供應系統設計...........................................................................................孫 敏12-5

電子專用設備研制

基于LT1244 的單端反激式開關電源設計................................................................謝秀鐲，張云鵬，田 志1-35

基于PLC 的溫度控制系統設計.....................................................................................劉玉倩，宮晨，馬鵬飛1-39

光刻機自動對準工作臺控制系統設計.....................................................................................劉玄博，周慶奎1-42

程控式LED 光源控制器的設計..................................................................................韋 薇，宋 波，張云鵬1-46

FOG 邦定機壓頭調整組件的加工工藝設計..........................................................................................趙 霞1-50

精密絲網印刷機步進控制系統的誤差分析與補償措施.........................................................李國林，朱林濤1-53

一種應用于芯片高精度拾放的視覺定位方法.....................................................侯一雪，王 雁，曹國斌，等2-28

碳纖維復合材料（CFRP）在直線電機上的應用..........................................................付江波，田 志，柴 亮2-33

自動背光源疊片機定位機構的設計.....................................................................陳國澍，孫貝貝，于百靈，等2-38

基于VB6.0 下的PEC8000 模塊與計算機串口通訊的應用...................................................楊 志，李國林2-42

基于ANSYS Workbench 的多功能精密組裝系統焊接臂的模態分析.....................曹國斌，田志峰，王 花2-47

兩相混合式步進電機驅動器的設計...........................................................................宋 波，韋 薇，張孝其2-53

全自動貼敷PSA 設備的研制................................................................................孫瑞濤，鮑 磊，伍昕忠，等3-52

直線電機保護裝置的設計與控制方法.................................................................劉亞奇，郝術壯，朱 偉，等3-56

自適應模糊PID 在低氣壓試驗箱壓力控制系統中的應用...................................................................韓棟梁4-54

AMS2750E 標準在真空爐中的應用.......................................................................................................張紅梅5-47

Adams 仿真在鍵合頭柔性設計中的應用.................................................................................周啟舟，郝術壯5-52

設備控制系統接地技術探討.......................................................................................羅懷民，趙玉國，巨莎娜8-49

重力熱管自動退火除氣線及其控制系統設計...........................................................楊曉東，廖正貴，王成君8-54

雙離子束濺射鍍膜機的維修性分配和預計...........................................................................胡曉宇，何華云10-33

專用設備信息管理模塊的研究與設計.................................................................................................劉玉倩10-38

基于廣度優先搜索的晶粒掃描方法.........................................................................高建利，侯為萍，劉玉倩10-41

先進光刻技術與設備

高亮度LED 步進投影光刻機及其量產應用........................................................陳勇輝，李志丹，孫 剛，等2-11

非接觸式預對準系統及控制技術研究.....................................................................................劉玄博，孫廣翔2-18

清洗技術與設備

全自動光刻版清洗機工藝原理與工作過程介紹.................................................宋文超，劉永進，王 剛，等2-23

電子組裝中PCBA 清洗技術.....................................................................................................宋順美，史建衛4-27

設計模式在光刻版清洗系統軟件設計中的應用.......................................................侯為萍，高建利，劉玉倩4-38

硅拋光片表面疏水改性工藝研究.............................................................................................黃 彬，馮琬評7-13

半導體晶圓的污染雜質及清洗技術.......................................................................................................張士偉7-18

基于故障樹的全自動濕法清洗設備故障診斷.........................................................................孫 敏，侯為萍7-22

材料制造工藝與設備

高性能IGBT 激光退火設備及其量產應用................................................................................陳勇輝，劉國淦4-1

淺談晶圓超薄化.........................................................................................................................................楊文杰4-8

砂輪劃片機在砷化鎵材料切割中的應用研究.....................................................郎小虎，張瑋琪，孫 彬，等4-12

通信機箱加工中6061 鋁合金對2A12 鋁合金的可替代性....................................................王 偉，李應紅4-15

功率IGBT 模塊中的材料技術................................................................................................................張曉云4-18

自動切割生產線的研制與技術分析.......................................................................................................孫紅飚4-22

貼附技術分析...........................................................................................................................................呂東梅7-28

新技術應用

基于AD9834 的實時可編程波形發生器的設計....................................................................高雄偉，謝秀鐲10-45

LED 燈珠性能特點及選擇應用...........................................................................杜 彬，史建衛，王 玲，等10-50

基于CAN 總線的機械手通信協議的設計與實現...................................................劉玉倩，劉永進，宋文超12-23

Modbus TCP 通訊協議在高溫MOCVD 控制系統中的應用..................................何華云，林伯奇，胡曉宇12-27

基于CANopen 協議的運動控制系統底層驅動軟件實現.......................................劉玉倩，侯為萍，高建利12-31

C++內存檢測的研究.................................................................................................柳 青，楊英豪，孫永超12-35

先進封裝技術與設備

再流焊接設備性能評估方法...................................................................................................................宋順美5-41

對FBGA 封裝的塊翹曲研究.................................................................................虞國良，譚 琳，李金睿，等6-19

疊片機中放帶長度計算的研究...................................................................................郭曉妮，趙 瑩，聶志宇6-24

手動引線鍵合設備夾持臺解決方案.....................................................................紀 偉，劉嚴慶，劉 丹，等6-27

真空爐加熱區的熱場分析.......................................................................................................................張紅梅6-32

DWG 格式的飛針測試文件轉換.................................................................................呂 磊，劉國敬，左 寧6-37

新型高效濕法錫渣分離技術.................................................................................檀正東，史建衛，周 旋，等6-43

波峰焊接工藝中治具的設計.................................................................................周慧玲，韓 彬，檀正東，等6-49

焊線機超聲波閉環控制...........................................................................................崔存華，王 惟，朱紹德，等7-1

PECVD 在TSV 領域的應用......................................................................................................................李 晶7-6

基于圖像傳感器的太陽能電池片定位系統.............................................................................................吳振鋒7-9

組裝系統低壓力貼裝研究.......................................................................................................................李有成8-31

選擇性波峰焊技術在SMT 中的應用...................................................................韓 彬，史建衛，檀正東，等8-35

基于Multi-stage 的double stitch 工藝在銅線焊中的應用........................................劉文峰，齊立敏，柳 青9-25

劃片機運動性能對劃切工藝的影響.....................................................................王兵鋒，于海波，王宏智，等9-32

錫渣的形成特點和減少措施.................................................................................韓 彬，檀正東，杜君寬，等9-46

PCB 數控鉆孔機的氣路系統設計與研究...................................................................何 玲，王志剛，吳恒玉9-53

PLC 在CGJ-100 銑切機控制系統中的應用研究.......................................................張永聰，張晨曦，王曉奎9-60

薄膜電容含浸固化聯動線運料方式的改進.............................................................................張少川，程永勝9-66

鋁合金外殼氣密性封裝的脈沖激光縫焊...........................................................趙 ，鄧 斌，萬喜新，等11-10

引線框架結構設計探討.......................................................................................陳國嵐，陳志祥，何文海，等11-16

QFN 封裝芯片切割分離技術及工藝應用..........................................................郎小虎，樊 兵，閆偉文，等11-20

劃片機劃切工藝研究...............................................................................................................閆偉文，高清勇11-24

封裝設備中偏心輪機構的運動分析與仿真.............................................................郝術壯，孫瑋淇，龐蘇娟12-10

關于集成電路沖切過程"中筋上帶"問題探討....................................................................劉紅波，王鋒博12-15

基于AD630 的阻抗在線監測系統設計...................................................................丁 毅，紀青松，崔 潔12-18

光伏制造工藝與設備

太陽能電池制造中化學濃度的預先控制介紹.....................................................馮小強，祝福生，關宏武，等8-25

液態源可控蒸發輸送系統.........................................................................................................吳得軼，楊 彬8-28

太陽能電池燒結爐的能耗分析及節能措施仿真研究.......................................郭 立，周乃君，陳 暉，等10-17

軟著陸閉管擴散爐幾個關鍵控制單元的設計與應用.......................................郝曉明，李補忠，桂曉波，等10-23

自動傳輸機構設計.................................................................................................................................朱旺平10-29

設備維護與維修

過功率燒損元件辨別方法的研究...........................................................................................................付少輝2-57

創新產品與技術

第八屆(2013年度)中國半導體裝備創新產品和技術介紹...................................................................................3-1

設備維護與維修

步進電機失步原因分析及常見故障檢測.............................................................................................李彥麗12-39

安立一體化標量網絡分析儀基本原理與維修實例.............................................................................林 升12-43

2014年中國半導體制造裝備戰略峰會暨半導體設備市場年會專題

2013年中國半導體設備制造業經濟運行分析和2014年展望............................................................金存忠7-32

Beckhoff 基于PC 的控制技術在半導體行業的應用.............................................................................王 濤7-36

有機電子器件低溫柔性薄膜封裝ICP-PECVD 系統.............................................................................劉 鍵7-42

X 射線儀器在電子行業中的應用...........................................................................................................李義彬7-44

半導體濕化學設備技術及發展...............................................................................................................張偉鋒7-49

晶體硅太陽能電池生產設備的發展趨勢...............................................................................................周惟仲7-52

國產設備在LED 外延芯片生產線上的應用及發展趨勢......................................................................王江波7-55

一個外資設備廠商在國內遇到的挑戰及應答.......................................................................................龔 里7-59

瞄準市場定位，發展國產半導體裝備.....................................................................................................陸 偉7-62

盛美液相半導體裝備發展的歷程與策略...............................................................................................王 暉7-64

新原理集成電路設備研發.........................................................................................................夏 洋，賈 毅7-70

太陽能電池制造裝備現狀及發展趨勢...................................................................................................賈京英7-73

直線電機及其在數控裝備&半導體相關行業設備上的應用..............................................................伍 鵬7-77

浙江省電子信息產業(南湖)示范園區投資環境推介.............................................................................孫旭陽7-80