關(guān)于光學(xué)表面微觀輪廓粗糙度標(biāo)準(zhǔn)的探討

李小蕓，李劍白，齊 豪，楊 勇

(1.江西省科學(xué)院，330029，南昌；2.江西連勝實(shí)驗(yàn)裝備有限公司，334409，江西，弋陽(yáng))

關(guān)于光學(xué)表面微觀輪廓粗糙度標(biāo)準(zhǔn)的探討

李小蕓1，李劍白1，齊 豪2，楊 勇2

(1.江西省科學(xué)院，330029，南昌；2.江西連勝實(shí)驗(yàn)裝備有限公司，334409，江西，弋陽(yáng))

討論提出了光學(xué)超光滑表面微觀輪廓納米及亞納米計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)問題，指出，現(xiàn)有的GB/T 1031-2009粗糙度數(shù)值標(biāo)準(zhǔn)不能滿足光學(xué)表面微觀輪廓的納米及亞納米計(jì)量要求。為此，建議制訂新的專用的光學(xué)表面粗糙度標(biāo)準(zhǔn)，以適應(yīng)現(xiàn)代光學(xué)快速發(fā)展的需求。

超光滑光學(xué)表面；亞納米；表面粗糙度；計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)

0 引言

光學(xué)表面加工質(zhì)量包括表面疵病和表面微觀輪廓粗糙度兩部分。其中表面微觀輪廓粗糙度的檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)和檢測(cè)方法以前一直使用的是機(jī)械加工的表面粗糙度標(biāo)準(zhǔn)和相關(guān)的測(cè)試方法。我國(guó)相關(guān)的國(guó)標(biāo)為GB/T1031-2009。光學(xué)行業(yè)仍然是沿用這個(gè)表面粗糙度及其數(shù)值系列標(biāo)準(zhǔn)和相關(guān)的檢測(cè)方法。就是說光學(xué)行業(yè)并沒有與一般機(jī)械加工的表面微觀輪廓粗糙度標(biāo)準(zhǔn)及檢測(cè)方法區(qū)別開來。這種情況的合理性值得探討。

在現(xiàn)代光學(xué)高速發(fā)展的今天，超光滑光學(xué)表面、高質(zhì)量的超光滑光學(xué)表面應(yīng)用越來越廣泛[1]，沿用一般機(jī)械加工的表面粗糙度國(guó)標(biāo)作為超光滑光學(xué)表面的質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)已顯得越來越不適應(yīng)，應(yīng)該有所改進(jìn)，有所發(fā)展[2]。

1 超光滑光學(xué)表面微觀輪廓粗糙度測(cè)試結(jié)果的例證

以作者做過的一個(gè)軟X射線超光滑光學(xué)表面微觀輪廓測(cè)試為例[3-5]。……